解釋
中文：米勞干涉儀；英文：Mirau interferometer的原理蕴忆；中文：米勞干涉儀颤芬；英文：Mirau interferometer的定義；中文：米勞干涉儀套鹅；英文：Mirau interferometer是什么站蝠。
一種嵌入顯微物鏡中的緊湊型干涉儀。其測(cè)試光路和參考光路共用一個(gè)光路卓鹿，測(cè)量時(shí)不會(huì)引入附加光程差菱魔。用于測(cè)量物體表面微觀輪廓、表面紋理等參數(shù)吟孙，縱向測(cè)量分辨率可達(dá)亞納米量級(jí)澜倦。
