中文：光柵干涉儀民珍；英文：grating interferometer

解釋
中文：光柵干涉儀襟士；英文：grating interferometer的原理；中文：光柵干涉儀嚷量；英文：grating interferometer的定義陋桂；中文：光柵干涉儀；英文：grating interferometer是什么蝶溶。
 一種基于衍射原理的橫向錯(cuò)位干涉儀嗜历。它在有環(huán)境干擾的情況下具有良好的穩(wěn)定性。干涉信號(hào)是由光柵上衍射的兩束光波順序互相重疊產(chǎn)生，計(jì)算兩束光之間的相位差可獲得測(cè)量值梨州。
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