解釋
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一種反射鏡面形誤差檢測(cè)技術(shù)剩蟀。具體原理為在被測(cè)反射鏡焦點(diǎn)位置放置點(diǎn)光源催蝗,發(fā)出的理想球面波經(jīng)待測(cè)鏡反射后在焦點(diǎn)附近被整形光學(xué)系統(tǒng)發(fā)散成近似平面波切威,該平面波被微透鏡陣列聚焦在CCD像面形成一組光斑,每個(gè)光斑位置表征了與其對(duì)應(yīng)的被檢鏡相應(yīng)子孔徑處波面的橫向像差丙号。通過(guò)求解每個(gè)焦斑位置與理想位置的偏移量先朦,可以得到相應(yīng)位置處的波面斜率缰冤,進(jìn)而通過(guò)積分運(yùn)算求得反射鏡面形誤差。該方法是20世紀(jì)70 年代夏克(Shack)在傳統(tǒng)哈特曼(Hartmann) 檢驗(yàn)技術(shù)基礎(chǔ)上提出的喳魏,故命名為夏克-哈特曼(Shack-Hartmann