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或者實(shí)現(xiàn)光的非相干性到相干性的轉(zhuǎn)變洞辣。將SLM同超快激光微納加工技術(shù)結(jié)合起來,發(fā)揮二者的優(yōu)勢(shì)昙衅,可大大提高激光微納加工的效率和靈活性扬霜。如:利用SLM生產(chǎn)多焦點(diǎn)的陣列(e.g. 30x30), 從1個(gè)點(diǎn)變成900個(gè)點(diǎn),加工效率提高900倍而涉。同時(shí)通過控制各個(gè)點(diǎn)的位置著瓶,可以實(shí)現(xiàn)不同線寬不同焦深的控制。SLM還可以通過加載計(jì)算全息圖啼县,可實(shí)現(xiàn)圖案結(jié)構(gòu)的一次性曝光加工材原。圖1 利用SLM生成多焦點(diǎn)陣列及并行加工圖案圖2 市面上的空間光調(diào)制器(SLM)產(chǎn)品示例 SLM除了可以調(diào)整激光生成二維多焦點(diǎn)配合移動(dòng)臺(tái)或振鏡進(jìn)行逐層掃描來實(shí)現(xiàn)三維加工外,SLM還可將飛秒激光調(diào)制成空間特定分布的點(diǎn)陣季眷、線型光場(chǎng)余蟹、面型光場(chǎng)、實(shí) ...
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