解釋
中文：光學微機電系統(tǒng)；英文：micro-opto-electro- mechanical system / MOEMS的原理吹害；中文：光學微機電系統(tǒng)螟凭；英文：micro-opto-electro- mechanical system / MOEMS的定義；中文：光學微機電系統(tǒng)它呀；英文：micro-opto-electro- mechanical system / MOEMS是什么螺男。
簡稱“微機電系統(tǒng)”。一種利用微電子纵穿、微機械技術把電子下隧、機械和光學部件集成在一起實現(xiàn)某些功能的微小集成系統(tǒng)。它屬于微電子 （集成電路）谓媒、微機械和微納光學三者相互交叉形成的一個學科分支的研制成果淆院，例如數(shù)字微反射鏡陣列器件（DMD）、光波導陣列開關、微機械法布里-珀羅腔（陣列）器件等。
