中文：逆向光刻狐榔；英文：inverse lithography

解釋
中文：逆向光刻坛增；英文：inverse lithography的原理；中文：逆向光刻薄腻；英文：inverse lithography的定義收捣；中文：逆向光刻；英文：inverse lithography是什么庵楷。
 依據(jù)光刻成像理論罢艾，利用目標(biāo)光刻成像性能作為評(píng)價(jià)函數(shù)，逆向優(yōu)化光刻設(shè)備（照明和物鏡系統(tǒng)）尽纽、掩模和工藝參數(shù)的光刻工藝咐蚯。
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