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激光波長調(diào)諧與穩(wěn)頻器-iScan
THz掃描干涉儀
在入射臂采用掃描干涉儀践美,通過掃描參考鏡獲得傅里葉光譜實(shí)現(xiàn)光譜測量洗贰,光源的光譜分布是中心波長為610nm和半峰全寬為170 nm。該技術(shù)較大地拓寬了光譜帶寬陨倡,增強(qiáng)了光強(qiáng)哆姻,測量結(jié)果更加準(zhǔn)確。橢偏儀大多采用透鏡將寬帶光束聚集在樣品表面玫膀,然而透射式光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)無法滿足寬光譜的測量要求矛缨,在深紫外情況下會(huì)產(chǎn)生明顯的色差問題。直到 2013 年帖旨,電子科技大學(xué)物理電子學(xué)院和中科院微電子所改變聚焦成像系統(tǒng)箕昭,研制了基于全反射聚焦光學(xué)系統(tǒng)的深紫外(DUV)寬帶光譜橢偏儀。該橢偏儀采用基于離軸拋物面鏡和平面反射鏡的全反射式光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)寬光譜(200-1000 nm)測量解阅,離軸拋物面鏡用于產(chǎn)生或聚焦準(zhǔn)直 光束落竹,平面反射 ...
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