中文:散射板干涉儀匾寝;英文:scatter plate interfero-meter

解釋
中文:散射板干涉儀;英文:scatter plate interfero-meter的原理荷腊;中文:散射板干涉儀旗吁;英文:scatter plate interfero-meter的定義;中文:散射板干涉儀停局;英文:scatter plate interfero-meter是什么很钓。
利用一種弱散射板作分束器的一種共路干涉儀香府。儀器的準(zhǔn)單色點光源經(jīng)透鏡和散射板成像在被檢測鏡面,并反射返回码倦,再次通過散射板企孩,成像于像平面,形成鏡面反射光和散射光的干涉條紋袁稽,以檢測鏡面缺陷勿璃。
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