中文：干涉條紋；英文：interference fringes

分布等〈抻担基于干涉條紋的疏密度敏感于波前的斜率极舔，因此波前傳感器在探測(cè)波前的偏離范圍較傳統(tǒng)的哈特曼傳感器具有更大的優(yōu)越性。波前傳感器的典型應(yīng)用光在傳輸?shù)倪^(guò)程中會(huì)經(jīng)過(guò)不同的介質(zhì)链瓦，不同的介質(zhì)由于其構(gòu)成物質(zhì)的分布不均勻拆魏，從而導(dǎo)致光的波前產(chǎn)生各種各樣的變化，自適應(yīng)系統(tǒng)便應(yīng)運(yùn)而生慈俯。作為自適應(yīng)系統(tǒng)中重要的一環(huán)稽揭，波前傳感器的檢測(cè)精度，動(dòng)態(tài)范圍等等因素肥卡，都制約著自適應(yīng)系統(tǒng)最終的調(diào)制結(jié)果溪掀。由于剪切干涉波前分析儀具有分辨率高，探測(cè)精度高步鉴，探測(cè)速度快揪胃，操作簡(jiǎn)便，可直接的三維顯示波前畸變的模式等優(yōu)點(diǎn)氛琢，目前已經(jīng)得到了廣泛的使用喊递。1、自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)實(shí)時(shí)波前探測(cè)在自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中利用Phasics波前傳感器檢測(cè)到精確的波前畸變 ...

年來(lái)直接激光干涉條紋法（Direct Laser Interference Patterning, DLIP）是在微結(jié)構(gòu)加工中使用的快速而高效的方法阳似。這個(gè)方法是用兩束或者多束激光骚勘，在被加工表面上，直接形成干涉條紋曝光。通過(guò)控制光束的數(shù)量俏讹、入射角当宴、波長(zhǎng)、偏振態(tài)泽疆、強(qiáng)度户矢、相位差等，可以精確控制干涉圖樣殉疼。論文中提出了用于增加干涉區(qū)域梯浪，從而實(shí)現(xiàn)高效利用高功率脈沖激光的新方法。此外瓢娜，DLIP和LIPSS的結(jié)合挂洛，使得微結(jié)構(gòu)和亞微結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)效率大大提升，大面積衍射以及超疏水表面的生產(chǎn)面積上升了幾個(gè)數(shù)量級(jí)眠砾。實(shí)驗(yàn)中使用AISI 316L鋼作為試驗(yàn)材料虏劲，這種鋼在生產(chǎn)生活中有著廣泛應(yīng)用，比較有代表性荠藤。激光器使用的是1 ...

面上就會(huì)看到干涉條紋。攝像機(jī)被放置在成像平面上获高，以便放大條紋便于觀察哈肖。當(dāng)XY相位系列SLM以不同的相位圖驅(qū)動(dòng)時(shí)，可以看到動(dòng)態(tài)干涉條紋念秧。分析干涉條紋可以獲得XY相位SLM進(jìn)行相位調(diào)制信息淤井。圖3 SLM的Twyman-Green 干涉儀光路圖4所示的離軸配置，在光路中移除了非偏振分束器摊趾，從而最大限度地提高升系統(tǒng)效率币狠。激光束以一個(gè)輕微的角度（≤15°）入射到SLM上，照射到SLM上砾层，經(jīng)像素反射鏡反射漩绵，然后用鏡頭在相機(jī)上成像。請(qǐng)注意肛炮，因?yàn)檫@個(gè)光學(xué)裝置不是干涉儀止吐，實(shí)際的相位調(diào)制在相機(jī)上是不可見(jiàn)的。這個(gè)光學(xué)設(shè)置只是為了說(shuō)明離軸系統(tǒng)的概念侨糟。應(yīng)該修改配置以滿足確切的應(yīng)用需求碍扔。偏軸角盡可能小，以減少光線通過(guò)超 ...

差會(huì)產(chǎn)生一條干涉條紋秕重，通過(guò)所謂的條紋計(jì)數(shù)法即可得到被測(cè)位移的大胁煌）。這是一種直流光強(qiáng)檢測(cè)的方法，對(duì)激光器的頻率穩(wěn)定度和測(cè)量環(huán)境要求很高二拐，其中光學(xué)元器件是造成元器件的非線性誤差的重要因素之一服鹅，原因一般為安裝調(diào)試復(fù)雜，還有調(diào)整內(nèi)部玻片的角度卓鹿，而且單頻干涉原理下抗干擾能力不強(qiáng)菱魔，受環(huán)境影響較大。零差干涉儀示意圖2 激光外差干涉：外差干涉法是較為流行的一種檢測(cè)方式吟孙，其原理同樣基于邁克爾遜干涉儀澜倦，但采用一定頻差??f的雙頻光束作為載波信號(hào)的干涉儀，也就是所謂的雙頻干涉杰妓。其原理為當(dāng)激光探測(cè)到一個(gè)物體的位移時(shí)藻治，由于多普勒效應(yīng)，被物體散射或反射的光的頻率將會(huì)發(fā)生多普勒頻移巷挥，即物體的位移對(duì)光進(jìn)行了調(diào)制桩卵，（波在波源 ...

要進(jìn)行連續(xù)的干涉條紋計(jì)數(shù)，只需要分析各波長(zhǎng)的干涉級(jí)小數(shù)部分即可準(zhǔn)確地解算出被測(cè)距離倍宾。多波長(zhǎng)干涉理論有兩個(gè)基本思想：一是利用多個(gè)單波長(zhǎng)組成一列長(zhǎng)度不同的合成波長(zhǎng)雏节；二是利用不同長(zhǎng)度的合成波長(zhǎng)，多次進(jìn)行干涉測(cè)量高职，逐步求解被測(cè)距離钩乍，逼近被測(cè)真值≌浚可以看出寥粹，多波長(zhǎng)干涉和傳統(tǒng)干涉儀的最大不同之處就在于多波長(zhǎng)干涉的被測(cè)距離的相位變化是由多個(gè)波長(zhǎng)同時(shí)決定，即產(chǎn)生一個(gè)由合成波長(zhǎng)決定的相位差埃元，整個(gè)測(cè)量相當(dāng)于用一個(gè)合成波長(zhǎng)等價(jià)于好幾個(gè)測(cè)量光波完成涝涤。在測(cè)量的過(guò)程中，選擇比較接近的兩個(gè)波長(zhǎng)岛杀，可以得到的合成波長(zhǎng)遠(yuǎn)大于任一波長(zhǎng)阔拳，然后用此合成波長(zhǎng)去測(cè)距。若只采用單波長(zhǎng)進(jìn)行測(cè)量時(shí)类嗤，需要對(duì)相位差的整數(shù)部分和小數(shù)部分同時(shí)計(jì)數(shù)才能得 ...

用CCD記錄干涉條紋衫生。采集到的干涉條紋，經(jīng)過(guò)傅里葉變換土浸，分別提取到強(qiáng)度圖和XY方向的相位梯度罪针，并合成為相位圖。這樣通過(guò)一次采集黄伊，就得到了該位置處的強(qiáng)度和相位信息泪酱，同時(shí)也能推算出其他位置處的強(qiáng)度和相位信息。一次拍攝，能同時(shí)解出強(qiáng)度和相位墓阀。三毡惜、優(yōu)勢(shì)1、相比于夏克-哈特曼傳感器斯撮，采樣點(diǎn)更多经伙，具有更高的分辨率。2勿锅、靈活易用帕膜，通過(guò)簡(jiǎn)單的設(shè)置就能進(jìn)行測(cè)量。3溢十、消色差垮刹，一個(gè)傳感器就可用于400-1100波長(zhǎng)范圍內(nèi)的測(cè)量。四张弛、探測(cè)波長(zhǎng)包括從紫外（150nm）到遠(yuǎn)紅外（8.14um）一系列波長(zhǎng)范圍五荒典、應(yīng)用案例激光測(cè)試解決方案M2、斯特列爾比吞鸭、Zernike寺董、束腰位置和尺寸、 PSF刻剥；可測(cè)試光束質(zhì)量遮咖；可搭配任意變 ...

生空間變化的干涉條紋。由此產(chǎn)生的干涉圖樣的條紋間距和相位都與入射光的波長(zhǎng)有關(guān)透敌，因此分析它們的結(jié)構(gòu)可以精確地確定激光波長(zhǎng)盯滚。圖1 斐索波長(zhǎng)計(jì)原理示意圖波長(zhǎng)的粗略估計(jì)可以直接從條紋間距得到踢械，其絕對(duì)精度為百分之一酗电。可以通過(guò)條紋圖樣的相位來(lái)進(jìn)一步改進(jìn)這一初步估計(jì)内列。在不犧牲絕對(duì)精度的前提下撵术，采用不同自由光譜范圍(FSRs)的多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)具來(lái)細(xì)化波長(zhǎng)的測(cè)量。MOGLabs FZW系列波長(zhǎng)計(jì)使用了四個(gè)這樣的標(biāo)準(zhǔn)具话瞧，使得zui終的FSR達(dá)到7.5 GHz嫩与，測(cè)定波長(zhǎng)的絕對(duì)精度達(dá)到107分之一。圖2 準(zhǔn)直的單色激光和菲索標(biāo)準(zhǔn)具在成像探測(cè)器上產(chǎn)生干涉圖樣交排。波長(zhǎng)是通過(guò)結(jié)合四種不同標(biāo)準(zhǔn)具的條紋測(cè)量結(jié)果計(jì)算得到MOGLabs ...

和解析納米級(jí)干涉條紋划滋。為了適應(yīng)人眼accommodation，要再現(xiàn)的三維信息可以僅具有幾厘米的深度分辨率埃篓，而不是全息所能達(dá)到的納米級(jí)分辨率处坪。這樣的圖像甚至可以像現(xiàn)代視頻游戲那樣，壓縮成覆蓋有紋理圖案的三維網(wǎng)格模型。視頻游戲?qū)⑦@些信息與虛擬攝像機(jī)的位置一起處理以顯示二維圖像同窘。同樣玄帕，如果顯示需要，游戲引擎可以顯示三維圖像(如可以使用立體VR headset調(diào)整和播放視頻游戲)想邦。實(shí)際上裤纹，要傳輸?shù)斤@示系統(tǒng)的數(shù)據(jù)量并不大，并且當(dāng)今的技術(shù)很容易就能應(yīng)對(duì)丧没。然而鹰椒，對(duì)于三維圖像，其全息圖的計(jì)算極大地增加了信息量(因?yàn)檠苌鋱D案不能夠縮放到適應(yīng)人眼的橫向分辨率(≈1 arcminute或0.3mrad),而是必須 ...

間相干的骂铁，且干涉條紋可見(jiàn)度始終是最大的吹零，此時(shí)：將方程（8）應(yīng)用到方程（6）可得：另一種情況則相反，光源是空間不相干的拉庵，干涉條紋可見(jiàn)度始終是最小的灿椅。在此情形下，相干函數(shù)為：將方程（10）代入方程（6）钞支，得：在方程（11）中茫蛹，系統(tǒng)響應(yīng)|p(x,y)|2是點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)(PSF)。它的傅里葉變換H(u,υ)是光學(xué)傳遞函數(shù)（OTF）烁挟。OTF與光瞳函數(shù)的二維自相關(guān)成正比：出于簡(jiǎn)化考慮婴洼，常數(shù)比例因子被略掉，這對(duì)我們的分析只有很小的影響撼嗓。盡管如此柬采，OTF在其原點(diǎn)以統(tǒng)一最大值表示。我們注意到且警，所有的真實(shí)光源都是部分相干的粉捻。大多數(shù)的被動(dòng)成像是空間不相干的。如前所述斑芜，主動(dòng)成像的特性取決于所用的光源肩刃。顯微鏡、計(jì)量杏头、光刻 ...

A 效應(yīng)會(huì)使干涉條紋幾乎消失盈包，在這種情況 下，軟件校正無(wú)濟(jì)于事醇王。需要根據(jù)應(yīng)用要求評(píng)估物鏡的使用呢燥。 如果可能的話，使用低數(shù)值孔徑物鏡總是更好寓娩。實(shí)際上叛氨，在所有應(yīng)用中滥朱，低NA（理想情況下NA < 0.5）對(duì)測(cè)量光譜的影響非常小。圖 4 校正TFCompanion 中的NA 影響力试。 TFCompanion 有一個(gè)選項(xiàng)可以在“高ji”選項(xiàng)卡 （主屏幕）中設(shè)置測(cè)量的NA–這將包括曲線擬合期間計(jì)算中的NA 校正（通常不需要FFT 校正）MProbe 40 MSP 系統(tǒng)使用NA<0.55 的長(zhǎng)工作距離 物鏡徙邻。這非常大限度地減少了幾乎所有膠片疊層的測(cè)量信號(hào)的衰減。此外畸裳，長(zhǎng)工作距離使得導(dǎo)航到測(cè)量位置更 ...