小點(diǎn)厚度測(cè)量

正文

小點(diǎn)厚度測(cè)量

高數(shù)值孔徑目標(biāo)問(wèn)題

嚴(yán)重的問(wèn)題是用于確定薄膜厚度的干涉信號(hào)的對(duì)比度降低。在高數(shù)值孔徑物鏡中糠涛，光線在膠片中以不同角度折射（見(jiàn)圖1）援奢，因此光線在膠片材料中的路徑長(zhǎng)度不同。這意味著它們具有不同的相位差忍捡。一旦不同的光線組合在一起并且相位疊加在探測(cè)器上集漾，相長(zhǎng)干涉峰/谷和相消干涉峰/谷之間的對(duì)比度就會(huì)減弱。這種影響的嚴(yán)重程度取決于具體的膠片疊層和數(shù)值孔徑锉罐。但是帆竹，一般來(lái)說(shuō)，效果隨著厚度的增加而增加脓规。

圖 1 大數(shù)值孔徑 (NA) 的小光斑測(cè)量

NA 如何影響厚度測(cè)量

在硅氧化物測(cè)量示例中很容易看出效果。 200nm氧化物的UVVis反射光譜（200-1000nm）的模擬如圖 2 所示险领。它顯示光譜隨著 NA 的增加而逐漸退化侨舆。但變化很小并且很容易糾正。然而绢陌，對(duì) 2000nm 氧化物的相同模擬（圖 3）顯示 NA 的影響更為顯著挨下。

圖2 大數(shù)值孔徑對(duì)200nm氧化物測(cè)量反射光譜的影響。線條代表：0脐湾、±30deg(NA=0.5)臭笆、±50deg(NA=0.76)、±70deg(NA=94) 和±90deg(NA=1) 

圖3 大數(shù)值孔徑對(duì)2000nm氧化物測(cè)量反射光譜的影響秤掌。線條代表：0愁铺、±30deg(NA=0.5)、±50deg(NA=0.76)闻鉴、±70deg(NA=94)和±90deg(NA=1) 

解決辦法

TFCompanion 軟件具有校正高 NA 效應(yīng)的選項(xiàng)（圖 4）茵乱。然而，如果干涉信號(hào)已經(jīng)由于其他偽影（散射孟岛、厚度不均勻性等）而減弱瓶竭，NA 效應(yīng)會(huì)使干涉條紋幾乎消失，在這種情況 下渠羞，軟件校正無(wú)濟(jì)于事斤贰。需要根據(jù)應(yīng)用要求評(píng)估物鏡的使用。 如果可能的話次询，使用低數(shù)值孔徑物鏡總是更好荧恍。實(shí)際上，在所有應(yīng)用中渗蟹，低 NA（理想情況下 NA < 0.5）對(duì)測(cè)量光譜的影響非常小块饺。

圖 4 校正 TFCompanion 中的 NA 影響赞辩。 TFCompanion 有一個(gè)選項(xiàng)可以在“高ji”選項(xiàng)卡 （主屏幕）中設(shè)置測(cè)量的 NA–這將包括曲線擬合期間計(jì)算中的 NA 校正（通常不需要 FFT 校正）

MProbe 40 MSP 系統(tǒng)使用 NA<0.55 的長(zhǎng)工作距離 物鏡。這非常大限度地減少了幾乎所有膠片疊層的測(cè)量信號(hào)的衰減授艰。此外辨嗽，長(zhǎng)工作距離使得導(dǎo)航到測(cè)量位置更加舒適，即使不切換到低放大倍率物鏡也是如此淮腾。

了解更多膜厚測(cè)量?jī)x詳情糟需，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)上海昊量光電的官方網(wǎng)頁(yè)：

http://www.wjjzl.com/three-level-56.html

更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電

關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類激光器谷朝、光電調(diào)制器洲押、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、光學(xué)元件等圆凰，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工杈帐、光通訊、生物醫(yī)療专钉、科學(xué)研究挑童、國(guó)防、量子光學(xué)跃须、生物顯微站叼、物聯(lián)傳感、激光制造等菇民；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝尽楔，培訓(xùn)，硬件開(kāi)發(fā)第练，軟件開(kāi)發(fā)阔馋，系統(tǒng)集成等服務(wù)。

您可以通過(guò)我們昊量光電的官方網(wǎng)站www.wjjzl.com了解更多的產(chǎn)品信息复旬，或直接來(lái)電咨詢4006-888-532垦缅。