激光穩(wěn)定系統(tǒng)包括：激光指向穩(wěn)定系統(tǒng)擅憔，激光頻率穩(wěn)定系統(tǒng)，激光功率穩(wěn)定系統(tǒng)等檐晕。
激光指向穩(wěn)定系統(tǒng)：激光光束由于其方向性好的優(yōu)點暑诸，常被作為直線基準廣泛應用在加工和測量設備中。但由于受環(huán)境狀態(tài)等因素的影響，制約了激光方向穩(wěn)定精度的進一步提高个榕，限制了激光在超精密加工和測量設備中的進一步應用啦逆。因此，需要對激光光束作準直處理笛洛。在自動準直系統(tǒng)中夏志，系統(tǒng)根據(jù)輸入光束光斑的位置，驅(qū)動執(zhí)行機構苛让，自動調(diào)整接收裝置位置沟蔑，達到實時跟蹤準直的目的。
激光頻率穩(wěn)定系統(tǒng)：激光具有良好的單色性和相干性狱杰，因此瘦材，在精密計量、光通信仿畸、光頻標食棕、高分辨光譜學等領域得到了廣泛的應用。而激光輸出受環(huán)境條件影響错沽，往往是一個不穩(wěn)定的簿晓、隨時間變化的無規(guī)則的起伏量。要使激光頻率穩(wěn)定千埃，則要通過穩(wěn)頻技術來解決憔儿。若采用恒溫、防震放可、密封隔聲等被動穩(wěn)頻措施谒臼，頻率穩(wěn)定性還不能滿足系統(tǒng)要求，就需要主動穩(wěn)頻耀里。主動穩(wěn)頻控制系統(tǒng)通過鑒別系統(tǒng)鑒別偏頻蜈缤，繼而自動調(diào)節(jié)腔長，將激光頻率回復到特定的標準頻率上冯挎，從而達到穩(wěn)頻的目的底哥。
激光功率穩(wěn)定系統(tǒng)：激光器輸出功率會隨時間產(chǎn)生周期性或隨機性的波動，使其應用范圍受到限制织堂。需要采用一些特殊措施才能增強其穩(wěn)定度叠艳。穩(wěn)定激光功率主要有兩個途徑奶陈，其一是穩(wěn)定激光其本身易阳，另一個就是穩(wěn)定激光器的輸出光束。不管什么原因引起的激光功率變化吃粒，反映在輸出光束上是一個合成的效果潦俺，即光功率無規(guī)律的起伏。通過光反饋的方法直接對激光束輸出光束進行調(diào)制，以抵消激光束的這種功率起伏事示，光的輸出功率可控制在10-6量級早像。
