30W高功率紫外UV-LED點光源（多波段袖裕，ALE/1系列）
---適用于光固化以及半導體光刻領域
昊量光電的ALE/1系列高功率UV-LED點光源是一款功率可達30W且可包含多個波段的無汞“綠色”LED光源，ALE/1-UV LED點光源采用模塊化工藝溉瓶，波長可覆蓋365-970nm波長范圍內(nèi)的多個LED模塊（如367.5±2.5nm, 387.5±2.5nm, 402.5±2.5nm, 435.0±2.5nm 等）急鳄，且LED模塊支持更換。這樣模塊化工藝支持就實現(xiàn)了光譜組分的靈活定制堰酿，滿足客戶以合適的代價實現(xiàn)多波段的應用需求疾宏。ALE/1-UV-LED光源還采用光纖耦合設計，液體光導纖維長度可定制触创，應用場景更加靈活坎藐，且具有非常穩(wěn)定的輸出和很長的使用壽命。
ALE/1這款高功率多波段-UV LED的模塊化和一體化設計形式哼绑，給與了客戶更大的定制化要求岩馍，極大的促進了產(chǎn)品的使用靈活性，目前廣泛應用在各種固化場景抖韩、半導體制造領域蛀恩、無損傷檢測以及生命科學研究領域，如下詳細列舉應用場景（供感興趣客戶參考）：
ALE/3系列UV-LED光源應用場景：
| 光固化應用 | 半導體制造領域 | 其他應用 | |||
| 1茂浮、單點固化 | 1双谆、曝光機 | 1、無損傷檢測（NDT） | |||
| 2席揽、多點固化 | 2佃乘、晶圓邊緣曝光 | 2、生命科學領域 | |||
| 3驹尼、小區(qū)域固化 | 3趣避、光掩模檢查 | ||||
| 4、高密度固化 | 4新翎、準直曝光 | ||||
ALE/1- UV LED點光源特色：
高功率：up to 30W 程帕，且功率密度可達95000mW/cm2；
光纖耦合輸出: 支持5.0mm, 6.5mm或8.5mm 光導組合輸出 （支持單極、雙極、四極輸出）移国；
定制光譜組成挫鸽，ALE/1 可支持集成多達5個LED模塊 ：
UV-LED ： 365nm， 385nm, 405nm梁棠，435nm （覆蓋i 線世舰，g線庞瘸，h線） ;
VIS-LED : 470nm惜论，520nm, 620nm许赃，660nm, 690nm ；
NIR-LED: 730nm馆类，770nm, 810nm混聊，850nm, 970nm，1050nm 乾巧；
閉環(huán)控制輸出句喜，內(nèi)部測量和監(jiān)控光學功率；
易于集成且無需外部冷卻沟于，"綠色”無汞光源 咳胃；
友好交互界面，方便操作旷太；
可選項：高性能光學元器件拙绊，可勻光、聚焦等泳秀；
潛在組合舉例和性能：
ALE/1.1(單LED光源)舉例:
| Emitters | 1 UV-LED (365, 385, 405, or 435 nm)1 | ||
| Radiation output2 in mW | ALE/1 | ALE/1+ | ALE/1+ |
| light guide3 | ?5.0 mm | ?6.5 mm AR | ?8.0 mm |
| 365 nm | 7,000 | 10,000 | 10,500 |
| 385 nm | 10,000 | 14,000 | 14,000 |
| 405 nm | 10,000 | 14,000 | 14,000 |
| 435 nm | 7,000 | 10,000 | 10,500 |
ALE/1.2(雙LED光源)舉例:
| Emitters | 2 UV-LEDs (365 and 385 nm)1 | ||
| Radiation output2 in mW | ALE/1 | ALE/1+ | ALE/1+ |
| Light guide3 | ?5.0 mm | ?6.5 mm AR | ?8.0 mm |
| 365 nm | 4,500 | 6,500 | 6,500 |
| 385 nm | 8,000 | 12,500 | 12,500 |
| Total | 12,500 | 19,000 | 19,000 |
ALE/1.3(三LED光源)舉例:
| Emitters | 3 UV-LEDs (365, 385, and 405 nm)1 | ||
| Radiation output2 in mW | ALE/1 | ALE/1+ | ALE/1+ |
| Light guide3 | ?5.0 mm | ?6.5 mm AR | ?8.0 mm |
| 365 nm | 4,500 | 6,500 | 6,500 |
| 385 nm | 6,000 | 9,000 | 9,000 |
| 405 nm | 4,500 | 8,000 | 8,000 |
| Total | 15,000 | 23,500 | 23,500 |
| Emitters | 3 UV-LEDs (365, 405, and 435 nm)1 | ||
| Radiation output2 in mW | ALE/1 | ALE/1+ | ALE/1+ |
| Light guide3 | ?5.0 mm | ?6.5 mm AR | ?8.0 mm |
| 365 nm | 6,500 | 10,000 | 10,000 |
| 405 nm | 6,500 | 10,500 | 10,500 |
| 435 nm | 6,000 | 9,500 | 9,500 |
| Total | 19,000 | 30,000 | 30,000 |
ALE/1.4&ALE/1.5(四/五LED光源)舉例:
| Emitters | 4 UV-LEDs (365, 385, 405, and 435 nm)1 | ||
| Radiation output2 in mW | ALE/1 | ALE/1+ | ALE/1+ |
| Light guide3 | ?5.0 mm | ?6.5 mm AR | ?8.0 mm |
| 365 nm | 4,500 | 6,500 | 6,500 |
| 385 nm | 6,000 | 9,000 | 9,000 |
| 405 nm | 4,500 | 7,500 | 7,500 |
| 435 nm | 4,000 | 7,000 | 7,000 |
| Total | 19,000 | 30,000 | 30,000 |
ALE/1-UV LED點光源規(guī)格參數(shù)：
發(fā)光單元 | up to 5 LEDs ,波長范圍覆蓋 365 nm to 1050 nm |
輸出功率 | 可高達 30 W |
輸出功率密度 | 可達 95,000 mW/cm2 |
數(shù)值孔徑 | 0.60 / 70° (2α) |
控制配置 |
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通訊接口 |
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熱管理 | 內(nèi)部液體冷卻 |
尺寸（長x寬x高） | 28 cm X 23 cm X 40 cm (11.0″ X 9.1″ X 15.7″) |
重量 | 15 kg (33 lbs) |
電源輸入 | 110-240 VAC / 50-60 Hz / 1,000 W |
光導選項 |
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易用性和過程控制：
只需幾分鐘就能完成單元和內(nèi)部發(fā)射極的初始設置金句。
高分辨率強度調(diào)節(jié)和反饋控制的功率輸出保證了曝光過程中前所未有的精度和穩(wěn)定性。
ALE/1速度極快吕嘀、輸出上升時間不到1毫秒违寞。
設置每個LED模塊和一般曝光參數(shù)的廣泛可能性、幫助您管理應用程序和啟用新的應用程序偶房。
終端用戶可以自行執(zhí)行長LED使用壽命和一分鐘的LED更換趁曼、這將極大地減少設備停機時間。
系統(tǒng)集成高度靈活性：
LED光引擎設計為光纖耦合光源棕洋、以實現(xiàn)系統(tǒng)集成的蕞大靈活性挡闰。
高透射光導將產(chǎn)生的輻射高效地傳輸?shù)綉命c、不需要復雜的光學器件掰盘、更容易為LED光源找到合適的位置以適合您的制造設備摄悯。
升級寶貴的現(xiàn)有設備并基于蕞新的LED技術設計新的曝光設備非常簡單。
小尺寸的內(nèi)部冷卻光引擎愧捕、高透射光導的應用和標準通信接口使得系統(tǒng)集成成為一項非常易于管理的任務奢驯。
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