首頁  產(chǎn)品信息   材料分析設(shè)備  橢偏儀

橢偏儀

橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學測量儀器侠草。 主要是利用線偏振光經(jīng)樣品反射后轉(zhuǎn)變?yōu)闄E圓偏振光來獲得薄膜樣品的一些基本參數(shù)辱挥。該橢偏儀由包含四種不同波長的光源，不存在厚度周期性問題边涕，可適用于透明膜晤碘、半透明膜及金屬膜等。透明膜可提供厚度可達1μm功蜓，1秒的采譜時間园爷，測量精度可達0.001nm。此外該設(shè)備可用于原位測量與ALD等設(shè)備聯(lián)用式撼。

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