異質結構厚度測量

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異質結構厚度測量

基于ZnO的異質結構用于LED應用栏笆。在異質結構中使用多對相同的層來放大光發(fā)射类腮。使用MProbe UVVisSr系統(tǒng)(200nm -1000nm)測量層的厚度并驗證其光學色散。該結構具有重復60次(ZnO/Al2O3) × 60次的ZnO和Al203層對蛉加。

為了確定ZnO和Al2O3的光學常數(shù)蚜枢，測量了這兩種材料的兩厚樣品。

圖1 厚氧化鋁樣品的測量:模型與測量的擬合七婴。測定了Al2O3的厚度和光學常數(shù)祟偷。

測量厚度:269 nm(光色散見圖2)

圖2 測量所得Al2O3的光學色散察滑。

色散用柯西近似表示

圖3 Al2O3薄樣品打厘。從厚Al2O3樣品測定的光學色散在這里被用來驗證樣品的性質是有效的薄膜。厚度測定為7.7nm贺辰。圖表顯示了模型與實測數(shù)據的擬合 

圖4 厚ZnO薄膜:模型與實測數(shù)據的擬合户盯。厚度和光色散由擬合決定。

厚度:342 nm

圖5 通過測量厚ZnO樣品確定ZnO的光學色散饲化。色散用CP激子模型表示

圖6 薄ZnO樣品莽鸭。

模型與測量用光學色散從厚ZnO樣品確定擬合。

厚度:12海里吃靠。

配合度的差異表明薄ZnO樣品的光學性質與厚ZnO樣品不同-它看起來更無定形硫眨。

圖7 模型與(2.0 nm ZnO/2.1nm氧化鋁)x60 /Si異質結構樣品的實測數(shù)據擬合。

測定了氧化鋁層和氧化鋅層的厚度——所有重復層都假定相同(相同的厚度和分散度)巢块。

通過測量確定ZnO的分散度礁阁。

圖8 由異質結構測量測定ZnO色散巧号。

圖9 從異質結構測量中確定的ZnO色散被用來分析薄ZnO樣品-以驗證它確實是正確的。

良好的擬合表明ZnO在單一ZnO層和異質結構ZnO層中的色散是相同的姥闭。

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