顯微式激光測振儀
意大利Julight顯微式激光測振儀是一款結合激光測振傳感器和數(shù)字顯微鏡的一體化測量系統(tǒng)券坞。激光測振儀被附在顯微鏡的特殊調節(jié)架上鬓催，邊通濾波鏡主要用以紅外激光和可見激光的反射，然后分別聚焦到測試目標上恨锚。濾波鏡能夠傳遞 20%從測試表面上散射回來的光宇驾，并且在 cmos 攝像機的傳感器上聚焦。為了能對中方便猴伶，顯微鏡裝在一個俯仰课舍、傾斜和旋轉位移臺上。顯微鏡激光測振儀測量測試表面的法向分量的振動他挎。
顯微式激光測振儀主要用于芯片/電力半導體器件/半導體薄膜/MEMS的零部件/電子器件和供電內部連接件/MEMS 加速度傳感器模子的振動模態(tài)及結構優(yōu)化筝尾。如：硅片、IC办桨、LCD筹淫、TFT、PCB崔挖、MEMS 激光加工、晶片測試庵寞、半導體材料狸相、線束加工蝕刻、液晶電池蓋捐川、導線框架等產(chǎn)品的檢測觀察脓鹃。
顯微式激光測振儀產(chǎn)品參數(shù)
顯微式激光測振儀產(chǎn)品特點
| ■ 頻帶寬蕞高可達35 MHz | ■ 單點/二維/三維 可選 |
| ■ 位移分辨率 10 pm | ■ 光斑大小< 4um |
| ■ 蕞大速度 ±40 m/s @3MHz | ■ 精度 1% |
顯微式激光測振儀實驗場景
顯微式激光測振儀應用
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