【SID4-UV-HR簡介】
隨著光波波前探測技術的發(fā)展嚷炉，各種波前傳感器應運而生渊啰。從測量原理上可以分成兩類：一類是根據(jù)幾何光學原理，測定波前幾何像差或面型誤差申屹，主要有Shack－Hartmann 波前傳感器绘证，曲率傳感器和Pyramid 波前傳感器等；另一類是基于干涉測量原理哗讥，探測波前不同部分的干涉性嚷那，來獲取波前信息，主要有剪切干涉儀波前傳感器和相位獲取傳感器等杆煞。剪切干涉儀波前傳感器不需要精確的參考標準鏡;它們結構簡單车酣，抗干擾能力強，條紋穩(wěn)定索绪。它是測量光學元件和光束波前質量的一種很好的替代傳統(tǒng)干涉儀的方法。作為低可至波長190nm的高分辨率波前傳感器贫悄，SID4-UV-HR非常適合于紫外光學測量瑞驱，包括用于光刻或半導體應用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測窄坦。
【關于Phasics】
Phasics是一家專注于高分辨率波前傳感技術的法國公司唤反。Phasics公司憑借其在測量方面的專業(yè)經(jīng)驗與獨特的波前測量技術為客戶提供全面的高性能波前傳感器。
一鸭津、 SID4-UV-HR 波前傳感器主要特點
低至190nm波長感光靈敏
2nm RMS高相位靈敏度
512 x 512超高相位取樣分辨率
二彤侍、SID4-UV-HR 波前傳感器產(chǎn)品功能
波前像差測量
基于四波剪切技術，Phasics 的波前傳感器同時提供具有無與倫比的高分辨率的相位和強度測量逆趋。 波前傳感器與其光束分析軟件相結合盏阶，可提供完整的激光診斷：波前像差、強度分布闻书、激光光束質量參數(shù)（M2名斟、束腰尺寸和位置等）脑慧。Phasics 的波前分析儀可以放置在光學裝置的任何一點，無論光束是準直的還是發(fā)散的砰盐。作為低可至波長190 nm的高分辨率波前傳感器闷袒，SID4-UV HR非常適合于紫外光學測量，包括用于光刻或半導體應用紫外激光表征岩梳，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測囊骤。 |  |
三、SID4-UV-HR 波前傳感器應用領域
紫外光學測量| 光刻或半導體應用紫外激光表征| 透鏡和晶圓的表面面型檢測| 自適應光學
四冀值、SID4-UV-HR 波前傳感器主要規(guī)格
| 波長范圍 | 190 - 400 nm |
| 靶面尺寸 | 13.3 x 13.3 mm2 |
| 空間分辨率 | 26 μm |
| 取樣分辨率 | 512 x 512 |
| 相位分辨率 | 2 nm RMS |
| 絕對精度 | 10 nm RMS |
| 取樣速度 | 30 fps |
| 實時處理速度 | 3 fps (全分辨率下)* |
| 接口種類 | CameraLink |
五也物、更多參數(shù)選型
產(chǎn)品標簽：phasics,SID4-UV-HR,紫外波段,波前分析儀,波前傳感器,干涉儀,激光干涉儀,球面干涉儀,激光平面干涉儀,干涉光刻,傳函儀,白光干涉儀,ZYGO,邁克爾遜干涉儀,便攜式干涉儀
