干涉儀多平面測量
干涉儀多平面測量
干涉儀是一個高精度測量方法，但是測量樣品多個表面霎烙，每個表面都可能返回光束撬讽，影響測量。如果需要測量樣品的多個面悬垃，每次測量一個面的時候游昼，需要在其他面涂抹消光材料抑制反光。這里講述描述一種尝蠕，使用可調(diào)諧激光器一次性測量樣品多個面的方法烘豌。
假設干涉儀返回的光束，包含三個面看彼，一個是參考光廊佩，第二個是樣品前表面的測試光囚聚，第三個是樣品后邊面的返回光束。所以如果相機前的整個光束可以描述為
沒有背景光的情況下
通常不考慮背光反射的情況下标锄，干涉圖光強分布
求解他的相位部分顽铸，可以將整個光束乘以一個復平面后
，做一個低通后求復角度料皇。
做一個低通后求復角度谓松。
低頻部分為
，所以只要求他復角就可以得到相位部分
沒有背景光践剂，但是移動頻率不準確的情況
如果無法準確知道復平面方程的時候鬼譬，如果假設乘以的復平面是
得到的低頻部分為
，求入射光的相位后舷手，相位也會帶有一些傾斜拧簸，但仍舊是準確的
存在背景光的情況下
光場描述為
整體光強
假設參考光光強為1劲绪，前表面反射光強為0.8男窟，后表面反射光強為0.1時的光強分布為
如果仍舊按照之前的做法，繼續(xù)對光強圖乘以贾富，得到
將他在頻譜圖上描述
從上圖可以看出低頻部分為
歉眷，理想情況下濾除后剩下的低頻信號后，獲取復角能能夠恢復相位颤枪。所以可以從傅里葉濾波的角度去恢復待測樣品的前表面和后表面的相位信息汗捡。
存在背景光的情況下，四步PSI的方法
四步PIS是改變參考光的相位進行的畏纲，所以重新定義參考光的方程
改變四次相位后扇住，根據(jù)公式計算
如果E3為零，沒有背光的情況下盗胀，得出的相位是
但是存在背景光后艘蹋，結(jié)果出現(xiàn)了誤差
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