光束位置測量

隨著激光加工領(lǐng)域?qū)?a style="color: blue" href="http://www.wjjzl.com/three-level-154.html" target="_blank">光束穩(wěn)定性要求越來越高椿疗，德國TEM開發(fā)出能同時監(jiān)測激光束位置和角度變換的PSD 4D探測器。PSD 4D探測器是由產(chǎn)生模擬輸出的PSD芯片糠悼、輸出電路届榄、PSD Reader和Kangoo軟件組成。PSD探測器具有極高的檢測精度可達1um和1urad倔喂，并且僅受信噪比的限制铝条。同樣，PSD 探測器也具有較高的檢測帶寬席噩，可以與大面積的光電二極管相媲美班缰。

根據(jù)激光束光斑尺寸的不同，TEM公司開發(fā)出了適應(yīng)不同光斑的尺寸的兩種PSD 4D探測器悼枢，即PSD 4Dc和PSD 4De埠忘。PSD 4Dc適用于9mm一下光斑，具有高集成度馒索、體積小和易安裝等優(yōu)點莹妒；PSD 4De針對于9mm以上光斑，可拆分成獨立的角度和位置兩個探測器绰上，可根據(jù)實際光路進行安裝調(diào)試旨怠。PSD 4De可根據(jù)客戶要求定制180-400nm、350-1100nm（標準波段）蜈块、1000-1700nm波段鉴腻。