ALIO Industries推出了6-D Nano Positioning?空氣軸承運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),6-D指運(yùn)動(dòng)的6個(gè)維度色难;線性泼舱,直線度,平面度枷莉,俯仰娇昙,偏航和滾動(dòng)。Nano Precision 指的是在 +/- 450 nm 水平或以下的性能證明文件笤妙。6-D Nano Precision? 是指在納米級(jí)精度下運(yùn)動(dòng)的身體的所有 6 個(gè)自由度的性能證明文件冒掌≡朐#空氣軸承系統(tǒng)適用于制造、檢測(cè)/維修和計(jì)量等各種應(yīng)用領(lǐng)域股毫。ALIO Industries空氣軸承運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)膳音,是一種用氣浮導(dǎo)軌或空氣軸承做支撐的精密運(yùn)動(dòng)裝置铃诬,適用于下一代TRUE NANO?精密應(yīng)用祭陷。空氣軸承系統(tǒng)提供出色的定位性能氧急,適用于高精度要求的應(yīng)用颗胡。空氣軸承系統(tǒng)適用于多個(gè)行業(yè)吩坝,包括光伏毒姨、半導(dǎo)體、噴墨沉積钉寝、光刻和光學(xué)檢測(cè)等領(lǐng)域弧呐。
零摩擦和無(wú)振動(dòng)的平滑移動(dòng)
速度穩(wěn)定超高精度的移動(dòng)
運(yùn)動(dòng)不產(chǎn)生顆粒,適用于無(wú)塵環(huán)境
軸承損耗低嵌纲,表面不易損壞
由于兩個(gè)軸都使用相同的高精度花崗巖底座作為參考,因此可以在數(shù)百毫米(甚至米)的行程范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)僅一微米的平面度逮走。
這種高剛性平面 xy 空氣軸承運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)系列提供亞微米精度和 +/- 100 納米雙向可重復(fù)性鸠蚪,即使在批量機(jī)器的批量生產(chǎn)中也是如此生產(chǎn)。憑借 200 毫米至 800 毫米的標(biāo)準(zhǔn)版本师溅,以及可定制超過(guò) 3 米的 X 和 Y 行程茅信,該產(chǎn)品系列在任何類型的測(cè)量/計(jì)量應(yīng)用和半導(dǎo)體行業(yè)中都具有True Nano?精度。
強(qiáng)大的線性直接驅(qū)動(dòng)器和空氣軸承使這些運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)非常適合高精度墓臭、高吞吐量的應(yīng)用蘸鲸,這些應(yīng)用需要平滑的連續(xù)掃描或非常長(zhǎng)距離的快速步進(jìn)和穩(wěn)定過(guò)程。
ALIO 的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)窿锉、帶空氣軸承平衡的垂直 Z 升降平臺(tái)系列的特點(diǎn)是外形低矮且行程極長(zhǎng)酌摇。使用高精度交叉滾子軸承和線性編碼器,平臺(tái)配備無(wú)摩擦空氣軸承氣缸嗡载。與 GeoSymmetric 系列平臺(tái)類似窑多,這些長(zhǎng)行程 Z 平臺(tái)具有配重、電機(jī)洼滚、軸承和編碼器埂息,所有這些都放置在平臺(tái)的大致中心線上。有效負(fù)載可以直接安裝到舞臺(tái)的表面。
Z-ABCB 系列——配備無(wú)摩擦空氣軸承氣缸平衡裝置——可在 200 毫米或以上承載高達(dá) 25 公斤的有效載荷耿芹。
當(dāng)需要很高的旋轉(zhuǎn)精度時(shí),制造商可以從 ALIO 的空氣軸承旋轉(zhuǎn)平臺(tái)系列中進(jìn)行選擇挪哄“娠酰空氣軸承允許載物臺(tái)在沒有機(jī)械接觸的情況下移動(dòng),因此移動(dòng)無(wú)摩擦且無(wú)磨損迹炼。即使在高速或旋轉(zhuǎn)平臺(tái)垂直安裝時(shí)砸彬,擺動(dòng)、偏心或跳動(dòng)等誤差也盡可能消除砂碉,以接近完美、平滑的 360 度運(yùn)動(dòng)刻两。
更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電
關(guān)于昊量光電:
上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商户誓,產(chǎn)品包括各類激光器饼灿、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備帝美、光學(xué)元件等碍彭,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊悼潭、生物醫(yī)療庇忌、科學(xué)研究、國(guó)防女责、量子光學(xué)漆枚、生物顯微、物聯(lián)傳感抵知、激光制造等墙基;可為客戶提供完整的設(shè)備安裝,培訓(xùn)刷喜,硬件開發(fā)残制,軟件開發(fā),系統(tǒng)集成等服務(wù)掖疮。
您可以通過(guò)我們昊量光電的官方網(wǎng)站www.wjjzl.com了解更多的產(chǎn)品信息初茶,或直接來(lái)電咨詢4006-888-532。
產(chǎn)品標(biāo)簽:平面空氣軸承XY納米平移臺(tái),空氣軸承平移臺(tái),空氣軸承位移臺(tái),平面空氣軸承平移臺(tái),空氣軸承平臺(tái),空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺(tái),氣浮位移臺(tái),氣浮線性位移臺(tái),氣浮轉(zhuǎn)臺(tái),空氣軸承轉(zhuǎn)臺(tái),氣浮導(dǎo)軌