不規(guī)則非球面光學(xué)元件應(yīng)力分布測(cè)量系統(tǒng)
（光刻機(jī)透鏡測(cè)量等）
不規(guī)則非球面光學(xué)元件（光刻機(jī)透鏡等）應(yīng)力分布測(cè)量系統(tǒng)
利用光彈調(diào)制器技術(shù)，Hinds 公司的應(yīng)力雙折射測(cè)量系統(tǒng)可以在深紫外（193nm）波段進(jìn)行應(yīng)力雙折射探測(cè)振坚。針對(duì)特定材料制作（氟化鈣）和特定形狀（非球面透鏡）有著獨(dú)特的技術(shù)解決方案薇搁。
應(yīng)力雙折射測(cè)量系統(tǒng)，非球面透鏡應(yīng)力雙折射測(cè)量渡八，應(yīng)力橢偏儀啃洋，應(yīng)力橢偏測(cè)量
Hinds 公司的不規(guī)則非球面光學(xué)元件應(yīng)力分布測(cè)量系統(tǒng)（應(yīng)力雙折射測(cè)量系統(tǒng)）通過(guò)對(duì)光的調(diào)制解調(diào)可以測(cè)出待測(cè)光學(xué)元件中的雙折射大小和方向传货，這些數(shù)據(jù)同時(shí)也表示了應(yīng)力的大小和方向。Hinds 公司這套不規(guī)則非球面光學(xué)元件應(yīng)力分布測(cè)量系統(tǒng)獨(dú)創(chuàng)的傾斜宏娄，多角度入射掃描技術(shù)可以保證對(duì)非球面不規(guī)則的光學(xué)元件（光刻機(jī)透鏡等）有著完美的掃描測(cè)量解決方案问裕。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1. 全套內(nèi)置軟件自動(dòng)掃描成圖
2. 非球面掃描（手動(dòng)宏程序）
3. 應(yīng)力大小及方向分布探測(cè)成圖
4. 定制各種尺寸形狀樣品臺(tái)
5. 探測(cè)強(qiáng)度：皮瓦
產(chǎn)品參數(shù)：
1. 可見(jiàn)光波段探測(cè)延遲范圍：0 to 300+nm
2. 深紫外波段探測(cè)延遲范圍：0 to 90+nm
3. 可見(jiàn)光波段應(yīng)力探測(cè)精度：0.001nm / ±0.03 (up to 3nm, 1% thereafter)
4. 深紫外波段應(yīng)力探測(cè)精度：0.001nm / ± 0.08 nm (up to 4nm, 2% thereafter)
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產(chǎn)品標(biāo)簽：應(yīng)力雙折射測(cè)量系統(tǒng),非球面透鏡應(yīng)力雙折射測(cè)量,應(yīng)力橢偏儀,應(yīng)力橢偏測(cè)量扛伍，Hinds,應(yīng)力雙折射,GEN6,表面應(yīng)力儀,玻璃應(yīng)力,玻璃表面應(yīng)力儀,鋼化玻璃應(yīng)力儀,玻璃應(yīng)力測(cè)試儀,Hinds Instruments,Exicor,birefringence measurement,應(yīng)力儀
