光譜型橢偏儀的校準(zhǔn)（三）-空氣測(cè)量法

正文

光譜型橢偏儀的校準(zhǔn)（三）-空氣測(cè)量法

空氣測(cè)量法只需要驗(yàn)證光譜型橢偏儀測(cè)量得到的橢偏角是否與理論值相同即可驗(yàn)證其橢偏角的測(cè)量準(zhǔn)確度塞椎，使用可變角度橢偏儀進(jìn)行驗(yàn)證桨仿，實(shí)驗(yàn)結(jié)果如下圖所示。橢偏角 和Δ的偏差不超過±0.1°案狠，與理論分析結(jié)果吻合良好服傍。

(a)橢偏角驗(yàn)證結(jié)果   

(b)橢偏角Δ驗(yàn)證結(jié)果

但是，由于不是所有光譜型橢偏儀的入射角度是可變的莺戒，直接測(cè)量空氣的方法具有一定的局限性伴嗡。為了適用于入射角度不能改變的光譜型橢偏儀橢偏角的校準(zhǔn)，可以應(yīng)用改進(jìn)的空氣測(cè)量法:使用上下表面平行度好且材質(zhì)均勻的透明材料作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)橢偏角的準(zhǔn)確度進(jìn)行驗(yàn)證从铲。如下圖所示使用平行平晶對(duì)橢偏儀的橢偏角進(jìn)行驗(yàn)證瘪校。

此時(shí)，按照斯涅爾定律

和折射定律式

上述兩個(gè)定律可以轉(zhuǎn)換為

式中: 

r_p— P 光反射系數(shù)名段；

r_s— S 光反射系數(shù)阱扬；

θ₁—入射角；

θ₂— 折射角伸辟；

n₁ — 空氣折射率麻惶；

n₂ — 平行平晶折射率。

求解上式可得：

此時(shí)信夫，我們能夠很容易發(fā)現(xiàn)：橢偏角只與平行平晶的折射率相關(guān)窃蹋，因此，只要確定了平行平晶的折射率即可得到橢偏角警没。

下圖給出了使用折射率為1.46的平行平晶驗(yàn)證光譜型橢偏儀橢偏角的實(shí)例。其中被校橢偏儀的入射角度為65°,求解上式可得的理論值為14.48°, Δ 的理論值為0° ,實(shí)際測(cè)量結(jié)果與理論值相差不超 過 ±0.5°振湾。

(a)橢偏角驗(yàn)證結(jié)果   

(b)橢偏角Δ驗(yàn)證結(jié)果

以上方法使用空氣和平行平晶作為標(biāo)準(zhǔn)杀迹，對(duì)橢偏儀特定橢偏角的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行驗(yàn)證，但是這并不能保證橢偏角在全范圍內(nèi)的量值準(zhǔn)確可靠押搪。

如果您對(duì)橢偏儀相關(guān)產(chǎn)品有興趣树酪，請(qǐng)?jiān)L問上海昊量光電的官方網(wǎng)頁：

http://www.wjjzl.com/three-level-56.html

相關(guān)文獻(xiàn)

1彭希鋒,陳爽,李海星,熊朝暉.基于激光位移傳感器的面角度測(cè)量技術(shù)研究[J].儀器儀表學(xué)報(bào),2017,38(11):2735-2743.

2浦昭邦,陶衛(wèi),張琢.角度測(cè)量的光學(xué)方法[J].光學(xué)技術(shù),2002,28(2):168-171. 

3劉文德,陳赤,于靖,徐英瑩,樊其明,張靜.相調(diào)制光譜橢偏儀校準(zhǔn)研究[J].計(jì)量技術(shù),2011(7):40-42. 

4楊坤,王向朝,步揚(yáng).橢偏儀的研究進(jìn)展[J].激光與光電子學(xué)進(jìn)展,2007,44(3):43-49. 

5徐鵬,劉濤,王林梓,李國光,熊偉,榮健.樣品校準(zhǔn)法在單波長(zhǎng)橢偏儀中的應(yīng)用[J].光學(xué)學(xué)報(bào),2013(4):84-91. 

6代貞強(qiáng),李大海,楊麗杰,鄂可偉,王琴,王雪敏.基于光線角度標(biāo)定的坐標(biāo)測(cè)量方法[J].光學(xué)與光電技術(shù),2015,0(3):29-33. 

7張繼濤,李巖,羅志勇.一種可溯源的光譜橢偏儀標(biāo)定方法[J].物理學(xué)報(bào),2010(1):186-191.

8韓志國,李鎖印,趙琳,馮亞南,梁法國.一種光譜型橢偏儀的校準(zhǔn)方法[J].中國測(cè)試,2017,43(12):1-6.

9林啟敬,吳昊,張福政,王琛英,蔣莊德.Cu/Ti納米薄膜表面形貌的分形表征研究[J].計(jì)量學(xué)報(bào),2018,39(5):593-597. 

10朱緒丹,張榮君,鄭玉祥,王松有,陳良堯.橢圓偏振光譜測(cè)量技術(shù)及其在薄膜材料研究中的應(yīng)用[J].中國光學(xué),2019,12(6):1195-1234.

更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電

關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類激光器大州、光電調(diào)制器续语、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、光學(xué)元件等摧茴，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工绵载、光通訊、生物醫(yī)療苛白、科學(xué)研究娃豹、國防、量子光學(xué)购裙、生物顯微懂版、物聯(lián)傳感、激光制造等躏率；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝躯畴，培訓(xùn)，硬件開發(fā)薇芝，軟件開發(fā)蓬抄，系統(tǒng)集成等服務(wù)夯到。

您可以通過我們昊量光電的官方網(wǎng)站www.wjjzl.com了解更多的產(chǎn)品信息嚷缭，或直接來電咨詢4006-888-532。