對光譜型橢偏儀校準結果受測量模型影響大的問題進行研究，提出一種不受測量模型影響的校準方法炮捧，即通過校準橢偏角實現(xiàn)光譜型橢偏儀的校準庶诡。
光譜型橢偏儀的校準（二）-橢偏儀的基本原理
針對光譜型橢偏儀校準結果受測量模型影響大的問題進行研究，提出一種不受測量模型影響的校準方法咆课，即 通過校準橢偏角實現(xiàn)光譜型橢偏儀的校準末誓。依據橢偏儀測量原理，通過仿真分析確定實現(xiàn)較大范圍內橢偏角校準所需標準樣片的薄膜厚度量值书蚪，并采用半導體熱氧化工藝制備出性能穩(wěn)定的膜厚標準樣片喇澡。
橢偏儀是利用橢圓偏振術對透明薄膜進行無損測量的一種儀器，它是利用偏振光在薄膜上下表面的反射殊校，通過菲涅耳公式得到光學參數和偏振態(tài)之間的關系來確定光學薄膜折射率和厚度晴玖。因其準確度高且為非破壞性測量，是測量光學薄膜折射率和厚度zui常用的一種測量儀器为流。
橢圓偏振術的數學模型為
式中:
— 偏振角呕屎；
Δ— 兩個偏振分量的相位差經薄膜后所發(fā)生的變化；
d — 薄膜厚度敬察；
n0— 空氣折射率秀睛；
n1— 薄膜折射率；
n2— 襯底折射率莲祸；
— 入射角度蹂安；
— 入射光波長。
和Δ分別反映了偏振光經過薄膜反射前后強度和相位的變化锐帜，統(tǒng)稱為橢偏角藤抡。目前，基于橢偏角的橢偏儀校準方法主要采用的是空氣測量法抹估。
空氣測量法驗證橢偏角準確度的過程是調整光譜型橢偏儀入射角缠黍，使入射光直接入射到其接收器。由于偏振光直接經過空氣進入接收器药蜻，可以認為偏振光狀態(tài)并未發(fā)生改變瓷式，因此上式右側的結果為 1替饿，通過對其求解得到
=45°，Δ= 0贸典。
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