平移臺是一種精密定位平臺,可實(shí)現(xiàn)多維定位和掃描卸例,昊量光電可提供不同類型的平臺称杨,按照驅(qū)動方式包括以下產(chǎn)品:
該平臺是利用壓電陶瓷的形變完成精確的位移筷转,通常該平臺分辨率可達(dá)亞納米級姑原,行程范圍在幾百微米,使用行程放大杠桿呜舒,最大行程可達(dá)1500μm锭汛。可提供一維袭蝗;二維唤殴;和三維的平臺,還可以提供快反鏡到腥。
2眨八、壓電馬達(dá)位移平臺
可提供粘滑式和超聲波壓電馬達(dá)平臺左电,該平臺可提供納米級分辨率和最高行程達(dá)1.5米廉侧。 可用于真空页响、非磁、低溫等環(huán)境段誊。
3闰蚕、電動位移平臺
由步進(jìn)電機(jī)或直線電機(jī)驅(qū)動的平臺,可提供亞微米分辨率及1.5米大行程连舍∶欢福可提供線性平臺、升降臺索赏、轉(zhuǎn)臺等
此外還提供氣浮轉(zhuǎn)臺/線性平移臺盼玄、微型平移臺、六維平臺等特殊平臺潜腻。