多年來堤器，納米定位傳感器領(lǐng)域電容式傳感器一直占據(jù)市場主導地位昆庇。但這項技術(shù)存在明顯的局限性。PIEZOCONCEPT經(jīng)過多年研究闸溃，開發(fā)出硅基高靈敏度位置傳感器（Silicon HR）技術(shù)整吆，Si-HR傳感器可以實現(xiàn)更高的穩(wěn)定性和線性度精偿，以滿足現(xiàn)代顯微鏡技術(shù)的更高分辨率要求旅择。
精密位移傳感器技術(shù)比較
PIEZOCONCEPT 在其壓電級中使用什么類型的位移傳感器腺怯？為什么它優(yōu)于其他傳感器技術(shù)泳赋？
PIEZOCONCEPT 使用單晶硅傳感器屿愚，稱為Si-HR 傳感器汇跨。盡管它是應(yīng)變儀傳感器大系列的一部分务荆，但它的性能優(yōu)于其他兩種常用技術(shù)（電容式傳感器和金屬應(yīng)變儀）。這兩種位置傳感技術(shù)有其自身的特定缺點扰法。
電容式傳感器與 PIEZOCONCEPT 公司Si-HR 傳感器的比較
電容式傳感器非常常用蛹含。他們提供了不錯的表現(xiàn)，但他們對以下情況很敏感：
? 氣壓變化：空氣的介電常數(shù)取決于氣壓塞颁。電容測量將受到任何壓力變化的影響浦箱。
? 溫度變化：同樣的，空氣的介電常數(shù)會隨溫度變化
? 污染物的存在
以上所有都會導致一些納米級的不穩(wěn)定性祠锣，因此如果您想實現(xiàn)真正的亞納米級穩(wěn)定性酷窥，則需要將它們考慮在內(nèi)。即使可以對氣壓和溫度進行校正伴网，也無法校正其他因素（污染物蓬推、脫氣）的影響。這解釋了電容式傳感器在真空環(huán)境中性能不佳的原因澡腾。此外沸伏，電容式傳感器非常昂貴且體積龐大。因此动分，帶有電容傳感器的位移臺不可能做的有像的 BIO3/LT3 這樣薄毅糟，即使設(shè)計的好也會在穩(wěn)定性方面進一步犧牲性能。
因為它是一種固態(tài)技術(shù)澜公，所以Si-HR 傳感器的電阻不依賴于氣壓或污染物的存在姆另。其次，溫度變化會對測量產(chǎn)生影響（主要是因為材料的熱膨脹）坟乾，但這可以通過使用傳感器陣列來糾正迹辐。基本上甚侣，我們?yōu)槊總€軸平行使用 2 個硅傳感器 - 一個用于測量明吩，另一個用于考慮由于溫度變化導致的材料膨脹。
金屬應(yīng)變計與 PIEZOCONCEPT Silicon HR 技術(shù)的比較
金屬應(yīng)變計與我們的 Silicon HR 技術(shù)（也是應(yīng)變計）之間的差異更大殷费。金屬應(yīng)變計和硅傳感器應(yīng)變計之間存在兩個巨大差異印荔。
競爭對手試圖說所有的應(yīng)變儀都具有相同的性能，因為它們測量的是應(yīng)變宗兼。這是不正確的躏鱼。半導體應(yīng)變計在穩(wěn)定性方面與金屬應(yīng)變計有很大不同氮采。
金屬應(yīng)變計和Si-HR 傳感器（PIEZOCONCEPT 使用）之間的第1個區(qū)別是應(yīng)變系數(shù)：半導體應(yīng)變儀（Si-HR）的應(yīng)變系數(shù)大約是金屬應(yīng)變儀的 100 倍殷绍。更高的規(guī)格因子導致更高的信噪比，zui終導致更高的穩(wěn)定性鹊漠。 更重要的是主到，第二個區(qū)別是金屬應(yīng)變計不能直接安裝在彎曲本身上（即實現(xiàn)運動的地方）：金屬應(yīng)變計必須安裝在某種“背襯”上茶行。因此，它必須安裝在執(zhí)行器本身上登钥，因為您沒有足夠的空間將其安裝在撓性件上畔师。僅在執(zhí)行器上測量的問題是壓電執(zhí)行器有很多缺陷......存在蠕變或滯后等現(xiàn)象。因此牧牢，由于壓電執(zhí)行器的伸長不均勻看锉，因此僅測量執(zhí)行器的部分伸長率并不能精確地扣除其完全伸長率。通過對彎曲本身進行測量塔鳍，我們不會遇到這種“不均勻”問題伯铣。由于上述原因，如果您比較應(yīng)變計（金屬）和 PIEZOCONCEPT 的Si-HR 傳感器轮纫，在信噪比和穩(wěn)定性方面存在巨大差異腔寡。
關(guān)于法國PIEZOCONCEPT公司
PIEZOCONCEPT 是壓電納米位移臺領(lǐng)域的供應(yīng)商，其應(yīng)用領(lǐng)域包括但不限于超分辨率顯微鏡掌唾、光阱放前、納米工業(yè)和原子力顯微鏡。其產(chǎn)品已被國內(nèi)外yi流大學和研究所從事前沿研究的知名科學家使用糯彬，在工業(yè)和科研領(lǐng)域受到廣泛好評凭语。
多年來，納米定位傳感器領(lǐng)域電容式傳感器一直占據(jù)市場主導地位情连。但這項技術(shù)存在明顯的局限性叽粹。PIEZOCONCEPT經(jīng)過多年研究，開發(fā)出硅基高靈敏度位置傳感器（Silicon HR）技術(shù)却舀，Si-HR傳感器可以實現(xiàn)更高的穩(wěn)定性和線性度虫几，以滿足現(xiàn)代顯微鏡技術(shù)的更高分辨率要求。
PIEZOCONCEPT的目標是為客戶提供一個物美價廉的納米或亞納米定位解決方案挽拔，讓客戶享受到市面上非常高的定位準確性和穩(wěn)定性的產(chǎn)品使用體驗辆脸。我們開發(fā)了一系列超穩(wěn)定的納米定位器件，包含單軸螃诅、兩軸啡氢、三軸、物鏡掃描臺术裸、快反鏡和配套器件倘是，覆蓋5-1500um行程，品類豐富袭艺，并提供各類定制化服務(wù)搀崭。與市場上已有的產(chǎn)品相比具有顯著優(yōu)勢，Piezoconcept的硅傳感器具有很好的穩(wěn)定性猾编、超本低噪聲和超高的信號反饋瘤睹，該技術(shù)優(yōu)于市場上昂貴的高端電容傳感器升敲。因此，我們的舞臺通過其簡單而高效的柔性設(shè)計和超本低噪聲電子器件提供皮米級穩(wěn)定性和亞納米（或亞納米弧度）本底噪聲轰传。
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