單晶釔鐵石榴石YIG薄膜
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昊量光電全新推出的單晶釔鐵石榴石YIG薄膜行冰,由于其微波損耗非常低溺蕉,釔鐵石榴石 (YIG) 和摻雜 YIG 等單晶鐵磁材料被用于微波技術(shù)中的器件。
YIG薄膜設(shè)計與功能:
通過液相外延將低缺陷YIG薄膜沉積在單晶釓鎵石榴石(GGG)上悼做。功能晶圓的尺寸可達(dá)三英寸,可以用作基板或用于磁力和自旋電子器件的圖案化肛走。
YIG薄膜技術(shù)規(guī)格:
YIG 晶圓 – 3 英寸
GGG襯底上的YIG:外延生長的單晶YIG
提供不同厚度:100 nm-20 μm(參見庫存清單漓雅,<可根據(jù)要求提供 100 nm)
表面粗糙度 (RMS): 0.5 nm
FMR 線寬 (FWHM):10 GHz 時< 2 Oe
厚度偏差(80%,中心):1%
單面光學(xué)拋光(可根據(jù)要求在雙面進(jìn)行涂層)
GGG基板厚度:0.5 ± 0.05 mm
晶體取向:(111)朽色、((100)根據(jù)要求)
YIG薄膜產(chǎn)品亮點:
具有極低表面粗糙度的低缺陷薄膜
膜厚均勻性高(中心區(qū)域>99%)
在市場范圍內(nèi)使用我們的材料進(jìn)行前沿研究
YIG薄膜優(yōu)勢:
LPE技術(shù)與其他涂層工藝的比較:
實現(xiàn) 100 nm 至 20 μm 的薄膜厚度邻吞,同時在整個薄膜厚度上保持高水平的結(jié)構(gòu)完美
可以形成非常光滑的表面
低應(yīng)變薄膜
YIG薄膜應(yīng)用領(lǐng)域:
由于其非常低的微波損耗,單晶鐵磁材料葫男,如釔鐵石榴石 (YIG) 及其等價取代的同系物抱冷,用于微波技術(shù)中的器件。例如梢褐,外延YIG涂層可用于需要微米厚薄膜的電子可調(diào)延遲塊和移相器旺遮。其他應(yīng)用包括集成非互易器件赵讯,如磁光隔離器和環(huán)行器,以及用于集成光學(xué)器件的布拉格單元調(diào)制器耿眉。
目前边翼,國際上正在努力開發(fā)這些絕緣體薄膜,作為信息處理中具有微納米結(jié)構(gòu)的自旋波器件(YIG-磁力學(xué))的有前途的基礎(chǔ)材料鸣剪,并通過合適的界面將它們與電子或自旋電子元件耦合组底。這些組件的小型化需要亞微米范圍內(nèi)的薄膜厚度。外延薄膜是使用液相外延 (LPE) 技術(shù)從高溫溶液中生產(chǎn)出來的筐骇。LPE涂層技術(shù)有助于生產(chǎn)微米和亞微米范圍的外延釔鐵石榴石層斤寇,并通過適當(dāng)?shù)奶娲镩_發(fā)定制的功能層。
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