SEM高速刻蝕子系統(tǒng)
XENOS刻寫子系統(tǒng)是一種允許設計圖案數(shù)據(jù)并產(chǎn)生用于帶電粒子束（例如用于半導體光刻應用或聚焦離子束系統(tǒng)的電子束）轉向的相應偏轉信號的系統(tǒng)∈洞啵可以連接到傳統(tǒng)的掃描電子顯微鏡设联、FIB或雙光設備上，升級系統(tǒng)灼捂，在半導體或其他材料上進行納米光刻离例。
高速刻寫
可以實現(xiàn)高達40MHz的像素速率。由于采用了智能寫入算法悉稠，可以考慮當前SEM的有限偏轉帶寬宫蛆。優(yōu)化的數(shù)據(jù)傳輸和穩(wěn)定時間計算與高寫入速度相匹配，以提供快速寫入的所有優(yōu)點的猛。
智能且通用的格式
使用三階多項式掃描邏輯耀盗，可以僅基于硬件以Max速度生成和寫入這些多項式。因此叛拷，圓形舌厨、環(huán)形或橢球體可以由同心的單像素環(huán)書寫胡诗，通常在曝光過程中不需要消隱邓线。并且，可以用Min的數(shù)據(jù)開銷和傳輸時間來實現(xiàn)理想的寫入速度和近似質量煌恢。此外骇陈，與結構的多邊形部分的光柵掃描相比，偏轉信號的正弦形狀消耗的偏轉帶寬要小得多瑰抵。同時你雌，寫入算法對稱地使用X軸和Y軸的帶寬。
高靈活性
模塊化系統(tǒng)可以進行配置二汛，以完全滿足您的需求。邏輯配置和DSP內(nèi)核可以在幾分鐘內(nèi)更新肴颊，以提供新功能氓栈。
配置高，應用界面友好
完整的偏轉信號生成是在每軸16/32位的可編程邏輯器件中實現(xiàn)的婿着。特別是場校正不使用帶寬限制的乘法模擬DAC授瘦，而是完全數(shù)字構建的，工作到Max寫入速度竟宋，而在產(chǎn)生的偏轉信號中沒有任何失真提完。
控制軟件ECP基于Linux或Windows使用，CAD部分可在工作組中自由使用丘侠。
SEM刻蝕子系統(tǒng)應用圖例：
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產(chǎn)品標簽：SEM電子刻蝕模塊,FIB刻蝕模塊,電子束刻蝕模塊,SEM刻蝕子系統(tǒng),納米光刻系統(tǒng)
