膜厚測量儀（厚度范圍1nm~10mm）

美國Filmetrics膜厚測量儀

使用 Filmetrics 膜厚測量儀產(chǎn)品江场，只需單擊鼠標(biāo)即可測量 1nm 至 10mm 的薄膜厚度。幾乎可以測量任何材料窖逗，直觀的設(shè)計意味著您可以在幾分鐘內(nèi)進(jìn)行一次薄膜厚度測量扛稽！

Filmetrics 膜厚測量儀通過分析光如何被薄膜反射來測量薄膜厚度。通過分析超出人眼可見波長的波長滑负，F(xiàn)ilmetrics 膜厚測量儀可以測量幾乎所有厚度大于 100 個原子的非金屬薄膜在张。而且由于沒有移動部件，因此可以在幾秒鐘內(nèi)獲得結(jié)果：薄膜厚度矮慕、折射率帮匾，甚至粗糙度！

越來越多的公司依靠 Filmetrics 膜厚測量儀進(jìn)行經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的薄膜厚度測量痴鳄。手機(jī)瘟斜、眼鏡、液晶顯示器和數(shù)百種其他產(chǎn)品的制造商都非常欣賞我們的設(shè)備易于使用痪寻、成本更低螺句，并且提供無與倫比的支持。事實(shí)上橡类，我們的客戶每天都在向我們展示我們的薄膜厚度測量工具的新用途蛇尚！

Filmetrics  膜厚測量儀-測量厚度從 1nm 到 10mm 的膜厚測量系統(tǒng)

Filmetrics 是通用的薄膜厚度測量儀器，在有數(shù)千種應(yīng)用顾画。厚度和折光率可在不到一秒的時間內(nèi)測量取劫。與我們所有的厚度測量儀器一樣，F(xiàn)20 可連接到 Windows? 計算機(jī)的 USB 端口研侣，并在幾分鐘內(nèi)完成設(shè)置谱邪。不同的 F20 儀器主要根據(jù)波長范圍進(jìn)行區(qū)分。標(biāo)準(zhǔn) F20 是 Filmetrics 非常受歡迎的產(chǎn)品庶诡。通常惦银，較薄的薄膜需要較短的波長（例如 F20-UV），而較長的波長允許測量較厚末誓、較粗糙和更不透明的薄膜扯俱。

Filmetrics 膜厚測量儀包括什么配件？

• 集成光譜儀/光源單元

• FILMeasure 5.0 軟件

• 具有多位置聚焦的 SS-3 樣品臺

• 光纜

• 參考資料

• 厚度標(biāo)準(zhǔn)

• 作手冊的硬拷貝

• 連接電纜

• FILMeasure 獨(dú)立軟件（用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析）

• 備用燈

• 鑷子

Filmetrics  膜厚測量儀測試原理：

當(dāng)指定波長范圍的光照射到薄膜上時基显，從不同界面上反射的光相位不同蘸吓，從而引起干涉導(dǎo)致強(qiáng)度相長或相消。而這種強(qiáng)度的振蕩是與薄膜的結(jié)構(gòu)相關(guān)的撩幽。通過對這種振蕩擬合和傅里葉變換就可獲得樣品厚度和相關(guān)的光學(xué)常數(shù)库继。

比如：

半導(dǎo)體（硅箩艺，單晶硅，多晶硅）

半導(dǎo)體化合物（AlGaAs, InGaAs宪萄，CdTe, CIGS）

微電子機(jī)械（MEMS）

氧化物/氮化物

光刻膠

硬涂層（碳化硅艺谆，類金剛石炭）

聚合物涂層（聚對二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯拜英，聚酰胺）

高分子聚合物

Filmetrics 膜厚測量儀分類：

1静汤、單點(diǎn)膜厚測量——F20
2、單點(diǎn)手持膜厚測量——F10-HC
3居凶、聚焦光斑膜厚測量儀——F40
4虫给、支持Mapping的聚焦膜厚測量儀——F50
5、在線膜厚測量儀——F30

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