OLED厚度測(cè)量

正文

OLED厚度測(cè)量

OLED結(jié)構(gòu)用于從電視屏幕到手機(jī)的許多應(yīng)用中。典型的OLED結(jié)構(gòu)包括夾在電極之間的三個(gè)薄有機(jī)層:HTL(空穴傳輸層)鞠柄、EML(電子遷移率)或空穴阻塞層和ETL(電子傳輸層)奉狈。

圖1 OLED的結(jié)構(gòu)示意圖

構(gòu)成OLED結(jié)構(gòu)的薄膜的計(jì)量是至關(guān)重要的。MProbe UVVis和MProbe UVVis- msp提供了一種廉價(jià)硅卢、可靠、非接觸的計(jì)量方法藏杖〗埽可以測(cè)量材料的厚度和光學(xué)常數(shù)。

MProbe UVVis可以測(cè)量毯狀(無圖案)樣品蝌麸，MProbe UVVis-msp可以使用非常小的光斑尺寸在像素級(jí)進(jìn)行測(cè)量点寥。

一来吩、測(cè)量實(shí)例

圖2玻璃上ITO(透明導(dǎo)電氧化物)的測(cè)量-使用參數(shù)化ITO模型確定厚度和光學(xué)常數(shù)

圖3 ITO上html層的測(cè)量-測(cè)量了ITO和html的厚度

圖4 測(cè)量ITO上的EML層-測(cè)量ITO和EML厚度

圖5 測(cè)量ITO上的ETL層-測(cè)量ITO和ETL的厚度

圖6 測(cè)量ITO上的LiF層-測(cè)量ITO和LiF的厚度

二敢辩、Alq3和NPD測(cè)量實(shí)例

OLED的一種很有前途的實(shí)現(xiàn)是使用NPD和Alq3聚合物材料。這兩種材料都具有有趣的電子結(jié)構(gòu)和光學(xué)性質(zhì)弟疆，這取決于制備條件戚长。因此，測(cè)量光學(xué)常數(shù)色散隨厚度的變化就顯得尤為重要兽间。

圖7 采用Alq3和NPD的OLED結(jié)構(gòu)

圖8 玻璃上Alq3層(17nm)的測(cè)量历葛。厚度和光常數(shù)都是確定的

圖9 Alq3的光學(xué)常數(shù)(n&k)由測(cè)量得到

圖10 玻璃上NPD材料的測(cè)量:厚度和光學(xué)常數(shù)的測(cè)定

圖11 NPD材料的光學(xué)常數(shù)由測(cè)量確定

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