隔振可分為兩類:主動隔振和被動隔振韧涨。其中主動隔振是通過傳感器和執(zhí)行器牍戚，提供大小相等，方向相反的力虑粥，抵消振動對目標(biāo)的影響如孝。主動隔振克服了被動各種平臺的共振頻率附近頻率無法消除的問題，拓展了隔振的頻率范圍（尤其是低頻范圍）娩贷，極大降低了振動傳遞率第晰。
主動隔振使產(chǎn)品具有更低的共振頻率應(yīng)用于掃描探針顯微鏡（SPM），共聚焦激光顯微鏡彬祖，干涉儀系統(tǒng)茁瘦，三維形狀測量機，激光位移測量系統(tǒng)储笑，其他精密測量和精密加工機甜熔。明立精機推出的MAPS 主動隔振系列產(chǎn)品的除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅(qū)動器而構(gòu)成的組裝型除振裝置。使用1 組4 個的話突倍，對應(yīng)全自由度的振動盆昙，能發(fā)揮出優(yōu)秀的除振性能、制振性能烧颖、定位性能等。ME40系列緊湊的機身集成了6 自由度的主動除振機構(gòu)炕淮，可提供以往的被動型無法實現(xiàn)的振動環(huán)境。這款機器可以很大限度的發(fā)揮近年來發(fā)展神速的納米技術(shù)領(lǐng)域所要求的高精度及高分解能跳夭。
