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激光干涉儀

點衍射激光干涉儀-大口徑(≥700mm)高精度(≤0.6nm RMS)無出口限制皮米級精度激光干涉儀相位偏折術/相位偏折測量系統(tǒng)λ/1000超高精度激光干涉儀!納米表面輪廓儀高分辨率激光干涉儀馬赫增德爾/邁克爾遜光纖干涉儀白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐MitutoyoKaleo MultiWAVE多波長動態(tài)干涉儀皮米級絕對距離測量干涉儀通用光學測量儀——波前/傾角/輪廓測量三合一 顯示全部
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高分辨率激光干涉儀

  • 高分辨率激光干涉儀
高分辨率激光干涉儀 便攜式零截、高分辨率、高動態(tài)范圍激光干涉儀秃臣!

所屬類別:光學檢測設備 ? 激光干涉儀

所屬品牌:

北方區(qū)產(chǎn)品負責人

姓名:劉工(Mario)

電話: 131 2285 6820(微信同號)

郵箱:zhanshuo-liu@auniontech.com

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南方區(qū)產(chǎn)品負責人

姓名:沈工(Max)

電話: 185 1673 5322(微信同號)

郵箱:xin-shen@auniontech.com

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高分辨率激光干涉


便攜式涧衙、高分辨率、高動態(tài)范圍激光干涉儀奥此!


超分辨剪切干涉儀(High-resolution interferometer)是一款便攜式弧哎、高靈敏度、高精度的波前分析儀稚虎。超分辨剪切干涉儀基于波前分析的四波剪切干涉技術撤嫩,與傳統(tǒng)干涉儀相比較具有結構緊湊,使用方便蠢终,無需標準件序攘,檢測穩(wěn)定性茴她,直接測量任意的波前、高分辨率(300x400采樣點)程奠,3D顯示等優(yōu)點丈牢。


關鍵詞:干涉儀、激光干涉儀瞄沙、球面干涉儀己沛、激光平面干涉儀干涉光刻距境、傳函儀申尼、白光干涉儀、Zygo肮疗、波前分析儀、波前傳感器扒接、邁克爾遜干涉儀伪货、便攜式干涉儀、光學傳函儀


超分辨激光干涉儀基于便攜式钾怔、高靈敏度碱呼、高精度波前分析儀。該激光干涉儀采用四波剪切干涉技術宗侦,與傳統(tǒng)干涉儀相比較具有結構緊湊愚臀,使用方便,無需標準件矾利,檢測穩(wěn)定性姑裂,直接測量任意的波前、高分辨率(300x400采樣點)男旗、激光波長覆蓋400-1100nm舶斧、消色差高動態(tài)范圍(500um)等優(yōu)點察皇。

 

超分辨剪切干涉儀可用于激光波前檢測茴厉、激光強度檢測、等離子體密度檢測什荣、透鏡檢測矾缓、高功率激光自適應光刻機檢測稻爬、精密光學元器件檢測穿仪、光學系統(tǒng)裝調(diào)、鏡頭模組檢測蝶糯、傳遞函數(shù)MTF)檢測等。法國Phasics公司超分辨剪切干涉儀并可實時檢測為客戶提供優(yōu)化的數(shù)據(jù)支持笔横。


產(chǎn)品特點:

1、直接測量咐吼、無需標準件



圖一吹缔、檢測光路



2、高靈敏度(是普通白光干涉儀的8.4倍)锯茄、對振動不敏感


圖二 與傳統(tǒng)的干涉儀檢測結果對比


3厢塘、三維立體顯示


圖三、波前三維檢測視圖


4肌幽、實時顯示澤尼克系數(shù)


圖四晚碾、多階澤尼克顯示界面


5、傳遞函數(shù)(MTF)檢測


圖五喂急、傳遞函數(shù)檢測界面


干涉儀應用領域:


? 激光光束性能格嘁、波前畸變M^2廊移、強度等的檢測

? 紅外透鏡檢測

? 激光糕簿、天文、顯微狡孔、眼科等復雜自適應光學系統(tǒng)波前像差檢測

? 光刻機物鏡檢測

? 大口徑高精度光學元器件檢測

? 透鏡懂诗、鏡頭模組檢測

? 傳遞函數(shù)測量

? 等離子體密度檢測

? 高功率激光自適應




產(chǎn)品系列:


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