長度與尺寸測量

正文

長度與尺寸測量

1.干涉法長度測量的基本定律

干涉法長度測量的基本規(guī)律是用一個機械長度與一個已知的光的波長對比逗旁。一般來說嘿辟，這種光學方法設計光束兩次通過所需的長度。因此片效，測量單位是半波長红伦，被測長度表示為：

式中，λ為波長淀衣；i為干涉整數(shù)級昙读；f是干涉分數(shù)級。

利用半波長的倍數(shù)表示長度的方法取決于兩種或者多種光波的干涉強度膨桥，在雙光束干涉時表示為：

此時蛮浑，γ為干涉率，z1-z2為兩個光束通路之間的幾何距離差只嚣。因此沮稚，一個通路長度的改變會以單位λ/2來改變周期性干涉強度。在上式中位相的不同 2Π/λ/2(z1-z2)可以用真空波長表示為2Π/λ0/2(z1-z2)册舞。此時的n是通路中空氣的折射率蕴掏，n(z1-z2)表示兩個光路之間的差異而不是幾何距離差。

可見光的波長一般為400～700nm,因此測量的基本單位是200～350mm。（因為半波長）

2.測長干涉儀的基本類型

（1）泰曼一格林干涉儀

泰曼一格林干涉儀是一種使用準直光束的邁克爾遜干涉儀盛杰。其光路本質(zhì)和邁克爾遜干涉儀相同挽荡，都是采用分束器分光，兩束光再次重合進行干涉的方法即供。光路圖如下：

當測試對象通過一個平面鏡時定拟，每條入射光線的的傾斜角都是相等的，可看到的整個區(qū)域呈現(xiàn)相同的照明度逗嫡，光程差為mλ/2時是亮條紋青自，光程差是(m+1/2)λ時為暗條紋，此時m是一個整數(shù)祸穷。當一個平面鏡傾斜時這種情況也將改變性穿。此時勺三，直條紋出現(xiàn)在觀察區(qū)域雷滚，條紋的數(shù)目和方向嚴格依賴于傾斜度。當被測對象不是完全平面時吗坚，條紋彎曲而且不在空間均勻分布祈远。這樣的條紋圖像可以用于表面品質(zhì)的測試，也可以用于地形表面的分析.

分束鏡的二次反射可采用鍍制減反射膜來抑制商源，很小的雜散反射也可導致不利的干擾车份，對zui終干涉造成影響。另一種消除二次反射的有效方法是利用楔形分束鏡牡彻。這樣使得二次反射的方向與主射方向不同扫沼，導致聚焦透鏡的焦平面上的二次反射點能被一個合適的孔擋住，這樣就避免了反射光對zui終的干涉光束的影響庄吼。分束鏡的楔形角ε造成干涉光束一個很小的偏移缎除，為ε(n-1)。此處n是分束鏡的折射率总寻。當使用一個單波長時器罐，這個偏移可通過適當?shù)恼{(diào)整反射面進行補償，當使用不同波長時渐行，分光儀的散射造成觀察條紋數(shù)目的很大改變轰坊。這種散射影響可以在反射光路中放置一個楔形補償平板來進行補償。補償板的楔形角祟印、方向和基體材料都要和分束鏡一樣肴沫。

（2）斐索干涉儀

一束光進入干涉儀后在第1個表面半反射，在其他表面都幾乎全部反射蕴忆。多次反射產(chǎn)生多束光颤芬，分光儀分開入射光，得到多束光用于多光束干涉的分析。不必要的反射導致的有害干擾可以用楔形平板驻襟，如在光組中的一個小孔光學元件來消除夺艰。

  

用斐索干涉儀進行長度測量時與泰曼一格林方法類似，通過加入一個粘接在圓筒上的棱鏡進行沉衣，可以確定條紋位移的干涉分數(shù)級郁副。

了解更多詳情，請訪問上海昊量光電的官方網(wǎng)頁：

http://www.wjjzl.com/three-level-55.html

更多詳情請聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電

關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商豌习，產(chǎn)品包括各類激光器存谎、光電調(diào)制器、光學測量設備肥隆、光學元件等既荚，涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊栋艳、生物醫(yī)療恰聘、科學研究、國防吸占、量子光學晴叨、生物顯微、物聯(lián)傳感矾屯、激光制造等兼蕊；可為客戶提供完整的設備安裝，培訓件蚕，硬件開發(fā)孙技，軟件開發(fā)，系統(tǒng)集成等服務排作。

您可以通過我們昊量光電的官方網(wǎng)站www.wjjzl.com了解更多的產(chǎn)品信息牵啦，或直接來電咨詢4006-888-532。