M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)/磁控濺射磁棒/旋轉(zhuǎn)陰極磁棒測量系統(tǒng)

M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)/磁控濺射磁棒/旋轉(zhuǎn)陰極磁棒測量系統(tǒng)

昊量光電蕞新推出M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)/磁控濺射磁棒，可以快速精準(zhǔn)的對(duì)濺射系統(tǒng)磁控管和磁棒的測量質(zhì)量精準(zhǔn)控制韭脊。旋轉(zhuǎn)磁控管和可調(diào)磁棒可以在浮法玻璃鍍膜的濺射過程中進(jìn)行精確測量和分析及可靠地識(shí)別有缺陷的磁控管和磁棒童谒。可以提高層厚的均勻性并且可以避免濺射沪羔。

M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)/磁控濺射磁棒主要介紹：

在玻璃或硅上濺射需要高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)饥伊。即使沉積層厚度的微小波動(dòng)也會(huì)顯著影響層的特性。用于窗戶和立面結(jié)構(gòu)的浮法玻璃在顏色和透射特性方面可能會(huì)發(fā)生某些變化蔫饰。作為太陽能電池生產(chǎn)基礎(chǔ)的玻璃涂層厚度的變化會(huì)導(dǎo)致電性能的不對(duì)稱琅豆。

濺射氣體的分壓或磁場可以改變層的特性。由于氣體成分的變化同樣會(huì)影響層的成分篓吁，因此對(duì)于層厚度的調(diào)整茫因，僅可以應(yīng)用磁場的控制和修改。

M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)以高精度表征管狀磁控管杖剪，使操作員能夠控制濺射裝置中的磁性元件冻押。除了對(duì)磁體配置進(jìn)行精確測量和分析外，M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)還為可調(diào)節(jié)磁控管提供幫助盛嘿，為確保高可靠性洛巢，確定了磁控管的幾何形狀（偏轉(zhuǎn))。

使用M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)/磁控濺射磁棒可以增加：

• 過程可靠性孩擂，因?yàn)榭梢詫?duì)新磁控管進(jìn)行進(jìn)貨檢驗(yàn)狼渊，并且可以更早、更可靠地檢測到有缺陷的磁控管类垦。

• 層厚度的均勻性狈邑，因?yàn)榭梢砸钥煽胤绞皆O(shè)置可調(diào)磁控管，或者可以更容易地組合合適的磁控管蚤认。

• 靶材的使用壽命米苹，因?yàn)榭梢员苊獬杀久芗桶胁牡臑R射。

M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)/磁控濺射磁棒突出亮點(diǎn)：

• 獲取完整的磁場輪廓

• 可提供用于圓形陰極和扁平陰極磁控管的系統(tǒng)

• 可以在現(xiàn)有的制造過程中實(shí)施該系統(tǒng)

• 可微調(diào)磁控管微調(diào)輔助功能

• 高可用性

  
  

M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)/磁控濺射磁棒主要技術(shù)指標(biāo)：

• 在 1 分鐘內(nèi)完成測量

• 場過程的圖形表示

• 檢測蕞小和蕞大磁場強(qiáng)度

• 以 CSV 格式存儲(chǔ)和導(dǎo)出單個(gè)測量系列的功能

• 可以記錄目標(biāo)參數(shù)（直徑砰琢、偏轉(zhuǎn)）

• 微調(diào)可微調(diào)磁控管的輔助功能

•  長度為 0.4 - 4.0m

•  磁場配置：33 個(gè)通道（X蘸嘶、Y良瞧、Z）+/- 1%

• 磁控管的幾何形狀（磁性功能部件的位置）：+/- 0.1mm

• 目標(biāo)的幾何形狀（直徑、偏轉(zhuǎn)）：+/- 0.1mm

•  具有生命周期管理训唱、各種視圖和設(shè)置選項(xiàng)的軟件

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