紅外輻射顯微成像系統(tǒng)（微觀溫度分布成像）

紅外輻射顯微成像系統(tǒng)（微觀溫度分布成像）

IRLabs的IREM-IV紅外顯微鏡系統(tǒng)使您能夠更快家卖、更準(zhǔn)確眨层、更可靠地進行半導(dǎo)體故障分析和調(diào)試。

IREM-IV相機提供超低噪聲擴展波長PEM成像，在工作電壓為400 mV的10 nm設(shè)備上具有經(jīng)驗證的發(fā)射成像靈敏度酪捡。自行設(shè)計和制造的相機叁征，用于低維護操作，具有卓越的功能逛薇，包括6位透鏡轉(zhuǎn)盤和超過20小時的LN2持續(xù)制冷時間捺疼。光學(xué)擴展端口為外部激光掃描OBIRCH、LADA永罚、TIVA和其他成像模式提供了升級路徑啤呼。

3.3NA SIL物鏡是定制設(shè)計的透鏡家族中的新產(chǎn)品呢袱，經(jīng)過優(yōu)化，可在整個視場上提供卓越的衍射限制成像羞福。自對準(zhǔn)SIL尖端可自動調(diào)平惕蹄，以符合被測設(shè)備的局部輪廓。獨特的尖端彎曲設(shè)計提供了低的接觸力坯临，因此適用于成像安裝器件或裸晶圓。

集成輪廓傳感器恋昼，測量器件表面輪廓看靠，高度分辨率優(yōu)于10 um。使用與精密x-y-z平臺集成的尖端傾斜臺挟炬，可以直接測量和補償從翻轉(zhuǎn)邊緣或器件彎曲產(chǎn)生的局部表面傾斜嗦哆。跟自對準(zhǔn)SIL尖端相結(jié)合谤祖，以實現(xiàn)安全可靠的SIL成像。

擴展波長PEM成像通常是熱背景噪聲受限的粥喜。IREM-IV提供兩個內(nèi)部冷卻的濾光輪，因此光譜濾光器或背景限制孔徑適用于任何測量場景橘券。

紅外輻射顯微成像系統(tǒng)（微觀溫度分布成像）指標(biāo)參數(shù)：

相機                                                                                                       運動系統(tǒng)

●   1016×1016 液氮制冷MCT陣列                                                          ●   25nm分辨率

●   像元尺寸 18um                                                                                 ●   100mm運動范圍 （X-Y-Z）

●   400-2500nm 光譜響應(yīng)范圍                                                               ●    阻尼振動隔離

●   6個位置自動物鏡轉(zhuǎn)盤                                                                         ●    電動樣品尖端傾斜選項

●   6個位置制冷濾光片/孔徑轉(zhuǎn)輪

●   大于20小時液氮維持時間

系統(tǒng)尺寸

●   顯微鏡   810mm x 876mm x 813mm卿吐， 160kg

●   控制系統(tǒng)  610mm x 1283mm x 762mm，90kg

物鏡選項：

參考圖例

**詳細技術(shù)參數(shù)可參考Datasheet或咨詢上海昊量光電設(shè)備有限公司锋华。

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