超緊湊納米壓印機(jī)
光刻技術(shù)實(shí)際上是一種精密表面加工技術(shù)，它借助于一定波長的激光光源以及選擇性的化學(xué)腐蝕和刻蝕技術(shù)把設(shè)計(jì)的微納圖案轉(zhuǎn)移到硅基板上廊散。但是隨著集成電路功能和密度的提升傳統(tǒng)的光刻技術(shù)已經(jīng)難以滿足當(dāng)前對線寬越來越小的需求桑滩。但是打破衍射極限的大型光刻設(shè)備又很昂貴。為了擺脫光學(xué)衍射極限和克服高成本的限制允睹，一種操作簡單运准，成本低廉的納米壓印技術(shù)產(chǎn)生了。納米壓印的技術(shù)核心是充分利用機(jī)械能將剛性模板上的圖案轉(zhuǎn)到抗蝕劑上缭受，之后再借助溶脫胁澳、剝離、刻蝕等將圖案轉(zhuǎn)移到基板上米者。到目前為止壓印技術(shù)已經(jīng)發(fā)展出來多種類型韭畸，典型的包括熱塑壓印技術(shù)、紫外固化壓印蔓搞、微接觸納米壓印胰丁、激光輔助納米壓印和滾軸式納米壓印技術(shù)等。
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的納米壓印機(jī)CNI 3.0為熱壓印和紫外固化壓印設(shè)備喂分。
CNI納米壓印機(jī)是一款桌面大小的納米壓印和熱壓成型的機(jī)器锦庸。它可以用于微米或納米結(jié)構(gòu)的壓印成型蒲祈。CNI不但可以進(jìn)行熱壓印還可以進(jìn)行UV壓印甘萧。
對于熱壓印首先設(shè)備通過施加壓力使模板與基板緊密接觸，加壓范圍蕞大可達(dá)到11bar梆掸，通常依據(jù)溫度控制壓印過程扬卷。溫度蕞高可達(dá)到250℃，由于采用原位實(shí)時測量溫度酸钦，因此控溫精度可達(dá)到1℃怪得。
UV曝光采用4個365nm/405nm的LED光源，組合光的功率可達(dá)到11.6W，LED的溫度被實(shí)時檢測汇恤，擁有過熱保護(hù)功能拔恰，即使出現(xiàn)過熱的現(xiàn)象也可以確保曝光劑量正確因谎。
此外設(shè)備擁有簡潔的操作軟件。通過軟件可以控制壓印的溫度颜懊、壓力财岔、曝光時間等參數(shù)。并且可以編輯并存儲在該軟件中河爹。
NIL-CNI其操作簡單匠璧，功能強(qiáng)大，易于實(shí)現(xiàn)新的實(shí)驗(yàn)和非標(biāo)準(zhǔn)的加工咸这。是納米壓印的完美工具夷恍。
u 壓印圖案例：
u 產(chǎn)品特點(diǎn)：
l 操作簡單
l 即插即用
l 結(jié)構(gòu)緊湊
l 多種用途
u 主要應(yīng)用
l 微米/納米結(jié)構(gòu)的壓印
l 高縱橫比結(jié)構(gòu)的壓印
l 聚合物的熱壓印
l 壓印模板制作
u 產(chǎn)品參數(shù)
Pressure | Imprint pressure from 0.3 - 11 bar overpressure |
Temperature | Up to 250oC with control of +/- 1oC |
UV exposure | UV led light with 365nm/405nm wavelength and optical power of 11.6W |
Vacuum | The imprint chamber can be evacuated down to pressure below 1 mbar |
Size of imprint chamber | Diameter of 100 mm/200mm and height of 20 mm (can be expanded up to 45 mm) |
Automated replication process | 1）Stamp and substrate are loaded manually 2）Replication process is fully automated and controlled through CNI software |
Software | Full process control and flexibility. Everything besides loading and unloading is handled by the software |
CNI customization | CNI can be modified to meet individual requirements |
On-line video instructions | On-line video installation and operation guides |
Optional | 1）Pressure booster to boost a lab compressed air supply from 3-5 bar to 6-10 bar 2）Training and/or installation by NILT personnel |
產(chǎn)品標(biāo)簽：納米壓印機(jī), 熱塑壓印機(jī), 紫外固化壓印機(jī), 熱壓式壓印機(jī), 壓印機(jī)醋安，高精度納米壓印機(jī),超緊湊納米壓印機(jī),納米壓印設(shè)備企業(yè),納米壓印機(jī),納米壓印光刻機(jī),納米壓印,紫外納米壓印機(jī),紫外固化納米壓印機(jī),直接納米壓印，熱壓式納米壓印機(jī),桌面型納米壓印機(jī),新型納米壓印,微型納米壓印機(jī),小型納米壓印機(jī),UV納米壓印, 熱塑壓印技術(shù), 紫外固化壓印, 微接觸納米壓印, 激光輔助納米壓印, 滾軸式納米壓印
