喜報(bào)业崖！昊量光電喜獲法國(guó)Microlight3D DMD無(wú)掩模光刻機(jī)獨(dú)家代理野芒。
上海昊量光電設(shè)備有限公司自2023年1月1日正式成為Microlight3D公司SMART PRINT UV系列DMD無(wú)掩光刻系統(tǒng)的中國(guó)區(qū)獨(dú)家代理商，此次獲得Microlight3D的授權(quán)双炕，體現(xiàn)了Microlight3D對(duì)上海昊量光電設(shè)備有限公司市場(chǎng)銷售的專業(yè)度及售后技術(shù)支持力量的高度認(rèn)可狞悲。我們將一如既往的為國(guó)內(nèi)廣大用戶提供更為優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。
Microlight3D成立于2016年妇斤，在格勒諾布爾阿爾卑斯大學(xué)(Université Grenoble Alpes摇锋，UGA）進(jìn)行了長(zhǎng)達(dá)15年的3D微型打印技術(shù)研發(fā)。格勒諾布爾阿爾卑斯大學(xué)創(chuàng)建于1339年站超，是一所擁有近七百年歷史的國(guó)立綜合研究型大學(xué)荸恕，是歐洲最古老的大學(xué)之一，教學(xué)科研實(shí)力處于法國(guó)頂尖死相、世界一流水平融求。作為具有世界影響力的法國(guó)公立大學(xué)，格勒諾布爾-阿爾卑斯大學(xué)先后誕生過(guò)3位諾貝爾獎(jiǎng)獲得者（克勞斯·馮·克利青算撮、路易·奈爾生宛、熱拉爾·穆魯），1位圖靈獎(jiǎng)獲得者（約瑟夫·斯發(fā)基斯）肮柜。
Microlight3D公司一直在快速發(fā)展陷舅，得益于Smart Print UV System在世界各地的實(shí)驗(yàn)室和公立私立研究中心的大量銷售。
Microlight3D公司推出的DMD無(wú)掩模光刻系統(tǒng)Smart Print UV系列审洞，是一種基于DMD投影技術(shù)的無(wú)掩模光刻設(shè)備蔑赘，可兼容多種抗蝕劑和基材。Smart Print UV可以在微米分辨率下產(chǎn)生任何2D形狀，而不需要硬掩模缩赛。
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Smart PrintUV系統(tǒng)特點(diǎn):
? 最小特征尺寸1.5um
? 可更換目標(biāo)的可調(diào)節(jié)寫入?yún)^(qū)域和分辨率
? 兼容CAD文件及bitmap文件
? 兼容SU-8耙箍、g線、h 線酥馍、i 線等絕大部分光刻膠
? 兼容多種基材（硅辩昆、玻璃、柔性薄膜旨袒、金屬汁针、塑料等）
? 兼容多種樣品尺寸：2''和4''晶圓、4''和5''方形或者定制更大尺寸砚尽、顯微鏡矩形載玻片施无、14mm和25mm圓形載玻片
? 反饋相機(jī)：聚焦，對(duì)齊必孤，準(zhǔn)直
? 手動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)：360°可旋轉(zhuǎn)猾骡，精度 0.1°
? 桌面型，占地空間小
? 曝光速度相比同類型產(chǎn)品更快敷搪！
? 極具性價(jià)比兴想！
? 軟件操作和設(shè)備維護(hù)簡(jiǎn)單！
? 交貨周期短赡勘！
? 可免費(fèi)打樣嫂便！
Smart PrintUV功能選件：
? 1X Objective 磁吸快速更換鏡頭
10.6 mm x 5.9 mm FOV and 15 μm resolution
? 5X Objective 磁吸快速更換鏡頭
2.1 mm x 1.2 mm FOV and 3 μm resolution
? 10X Objective 磁吸快速更換鏡頭
1.06 mm x 0.59 mm FOV and 1.5 resolution
? 4" 晶圓樣品支架
? 玻璃載玻片樣品支架
? 多用途大型樣品支架
兼容4" & 5" 方形基板, 2" & 4" 晶圓, 顯微鏡載玻片, 14 mm & 25 mm 圓形載玻片
? 定制化樣品支架
根據(jù)客戶要求，可適應(yīng)更大樣品尺寸或多個(gè)樣品闸与；兼容柔性膜材基底（New!）
? 保修期延期
設(shè)備保修期2年毙替，軟件免費(fèi)升級(jí)2年
Smart PrintUV核心規(guī)格：
| 型號(hào) | SP-UV.Standard | SP-UV.Advanced |
| 光源 | 曝光波長(zhǎng)：385nm；校準(zhǔn)波長(zhǎng)：590nm | |
| 最小特征尺寸 | 1.5um | |
| 對(duì)準(zhǔn)準(zhǔn)度（1cm2區(qū)域） | 2um | 1um |
| 拼接精度 | 2um | ＜1um |
| 最大曝光范圍 | 70×70mm2 | 110×110mm2 |
| 基板尺寸 | 4英寸(wafer) | 5英寸（方形） |
| 寫入速度 | 77mm2/min | 220mm2/min |
| 系統(tǒng)尺寸 | 長(zhǎng)×寬×高：52(cm)×52(cm)×69(cm) | |
軟件包：
| 電腦 | Windows 10Pro, 24inch屏幕 |
| SFTprint軟件 | 機(jī)器控制践樱、步進(jìn)重復(fù)蔚龙、自動(dòng)劑量測(cè)試、拼接映胁、對(duì)齊 |
| SFT轉(zhuǎn)換器 | 將標(biāo)準(zhǔn)CAD格式（gdsii木羹、dxf、cif解孙、oas）轉(zhuǎn)換為機(jī)器格式坑填；包含CAD軟件 |
鏡頭選項(xiàng)：
| 物鏡 | 1X | 2.5X | 5X | 10X |
| 寫入?yún)^(qū)域（mm） | 10.56×5.94 | 4.2×2.4 | 2.1×1.2 | 1.06×0.59 |
| 最小線寬（um） | 15 | 6 | 3 | 1.5 |
Smart PrintUV應(yīng)用領(lǐng)域:
Smart Print UV是為需要制作表面微圖案、微結(jié)構(gòu)的任何應(yīng)用領(lǐng)域的完美設(shè)計(jì)弛姜，如MEMS脐瑰，微流體，二維材料廷臼，自旋電子學(xué)苍在，生物技術(shù)和微電子等绝页。
Microlight3D公司還有另外一款明星產(chǎn)品-雙光子聚合3D納米光刻機(jī)。
2007年寂恬，第一代雙光子聚合3D納米光刻機(jī)microFAB-3D問(wèn)世续誉，在中國(guó)大陸、臺(tái)灣和歐洲地區(qū)有大量的銷售初肉。
2018年酷鸦，公司獲得了法國(guó)研究與創(chuàng)新部頒發(fā)的公共研究領(lǐng)域最具創(chuàng)新力年輕公司獎(jiǎng)。
2019年牙咏，推出了第一代緊湊型桌面式雙光子聚合3D納米光刻機(jī)臼隔。
2019年，Microlight3D完全收購(gòu)了無(wú)掩模光刻系統(tǒng)制造商SmartForceTechnologies妄壶。
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未來(lái)摔握，上海昊量光電設(shè)備有限公司將獲得Microlight3D更多的資源支持，昊量光電也將繼續(xù)秉承互利共贏的發(fā)展理念丁寄，充分發(fā)揮自身強(qiáng)大的專業(yè)技術(shù)溝通和服務(wù)優(yōu)勢(shì)氨淌，力爭(zhēng)為國(guó)內(nèi)MEMS，微流體狡逢，二維材料，自旋電子學(xué)拼卵，生物技術(shù)和微電子等應(yīng)用領(lǐng)域的研究和推廣貢獻(xiàn)一份力量奢浑，滿足并不斷超越客戶的期望，致力于為國(guó)內(nèi)前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)腋腮，助力中國(guó)智造與中國(guó)創(chuàng)造雀彼。
如果您對(duì)DMD無(wú)掩模光刻機(jī)感興趣，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)上海昊量光電的官方網(wǎng)頁(yè)：
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歡迎繼續(xù)關(guān)注上海昊量光電的各大媒體平臺(tái)即寡，我們將不定期推出各種產(chǎn)品介紹與技術(shù)新聞徊哑。
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關(guān)于昊量光電：
上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類激光器聪富、光電調(diào)制器莺丑、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、光學(xué)元件等墩蔓，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工梢莽、光通訊、生物醫(yī)療奸披、科學(xué)研究昏名、國(guó)防、量子光學(xué)阵面、生物顯微轻局、物聯(lián)傳感洪鸭、激光制造等；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝仑扑，培訓(xùn)览爵，硬件開發(fā)，軟件開發(fā)夫壁，系統(tǒng)集成等服務(wù)拾枣。
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