昊量光電推出一種測(cè)量介觀顯微物鏡的檢測(cè)方案瞳别,它使用D7點(diǎn)衍射激光干涉儀檢測(cè),這種方案具備以下優(yōu)點(diǎn):1.無需參考鏡杭攻;2.可在全光譜范圍VIS + NIR下進(jìn)行祟敛;3.可選擇不同的工作波長(zhǎng)范圍;4.擁有廣泛的參數(shù)測(cè)量包括全視場(chǎng)(FOV)波前兆解,以及所有類型的像差5.可以測(cè)量調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)以及光學(xué)傳遞函數(shù)(OTF)馆铁;6.兼容光學(xué)設(shè)計(jì)軟件(ODS)的Zemax, CODE V, Oslo或其他可用于糾正物鏡的像差軟件;7.口徑兼容性強(qiáng)锅睛,孔徑較大(NA=0.9)和視場(chǎng)較小(0.1 mm)的物鏡都可以使用埠巨。
展示全部
D7點(diǎn)衍射激光干涉儀用于測(cè)量介觀顯微物鏡的檢測(cè)方案
介觀物鏡颠焦,因其具有復(fù)雜的光學(xué)結(jié)構(gòu)和出色的像差優(yōu)化全陨,可以實(shí)現(xiàn)高NA和超大成像 FOV叮阅,顯著提高光學(xué)顯微鏡成像通量的特點(diǎn)而被人們熟知璧函。
介觀顯微物鏡可用于廣域成像系統(tǒng)、激光共焦掃描成像系統(tǒng)和雙光子成像等系統(tǒng)勋桶,具有重要的研究意義脱衙。
本文介紹了一種用D7點(diǎn)衍射激光干涉儀測(cè)量介觀顯微物鏡的檢測(cè)方案,
具體方案如下圖所示:
1.光源部分
1. D7系統(tǒng)的光源為連續(xù)波(CW)單模(SLM)激光器:具有不同波長(zhǎng)的相干性哥遮,覆蓋了激光器的工作光譜范圍包括:480 nm, 532 nm, 633 nm, 830 nm, 1030 nm岂丘。
2. 激光器是光纖耦合的,可以通過光纖插入到D7主機(jī)插座上選擇單元眠饮。
3. 所有的激光器都是永久插入奥帘,光源選擇可以從一種波長(zhǎng)切換到另一種波長(zhǎng)∫钦伲可選波長(zhǎng)范圍為VIS和NIR范圍寨蹋,或?yàn)槊總€(gè)波長(zhǎng)。
2.測(cè)試參數(shù)及準(zhǔn)確性部分
1. 測(cè)試參數(shù)包括波前通過視場(chǎng)扔茅,通過光譜范圍(從可見光到近紅外)已旧,孔徑像差-球面像差,彗差召娜,像散;場(chǎng)像差-失真运褪,場(chǎng)曲率;色差-波前色差,橫向和軸向色差等玖瘸。
2. 通過物鏡秸讹、針孔單元和D7干涉儀的精確線性運(yùn)動(dòng)來測(cè)試視場(chǎng)。
3. 檢測(cè)精度如下表所示:
3.畸變校正
1. DifroMetric軟件導(dǎo)出/導(dǎo)入數(shù)據(jù)傳輸為標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)設(shè)計(jì)軟件(ODS)雅倒。
2. 物鏡的測(cè)量像差可用澤尼克條紋系數(shù)表示璃诀。
3. 實(shí)測(cè)像差系數(shù)CFZM可與設(shè)計(jì)系數(shù)CFZD進(jìn)行數(shù)據(jù)比較,DifroMetric和光學(xué)設(shè)計(jì)軟件之間可交互作用蔑匣。
4. 比較的結(jié)果有助于選擇參數(shù)包括-氣隙劣欢,或其他參數(shù),這對(duì)于在裝配過程中對(duì)待測(cè)件位置的調(diào)整有重要作用裁良。
4.D7系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)
1. 測(cè)試介觀物鏡不需要參考鏡凿将。
2. 測(cè)試介觀物鏡可在全光譜范圍VIS + NIR下進(jìn)行。
3. D7可以選擇不同的工作波長(zhǎng)范圍价脾。
4. D7系統(tǒng)可以提供廣泛的參數(shù)測(cè)量包括全視場(chǎng)(FOV)波前以及所有類型的像差:孔徑像差牧抵,視場(chǎng)像差,還有色差等彼棍。
5. D7系統(tǒng)與DifroMetric軟件可以測(cè)量調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)以及光學(xué)傳遞函數(shù)(OTF)灭忠。
6. DifroMetric軟件的導(dǎo)出/導(dǎo)入數(shù)據(jù)傳輸兼容一種標(biāo)準(zhǔn)的光學(xué)設(shè)計(jì)軟件(ODS)的Zemax, CODE V, Oslo或其他可用于糾正物鏡像差的軟件。
7. 對(duì)待測(cè)件口徑兼容性強(qiáng)座硕,孔徑較大(NA=0.9)和視場(chǎng)較小(0.1 mm)的物鏡都可以使用弛作。
5.結(jié)論
1. D7系統(tǒng)可以綜合表征性能:a)在工作光譜范圍內(nèi)的介觀物鏡的性能參數(shù)b)提出改進(jìn)建議并模擬未來樣品在成像系統(tǒng)的性能參數(shù)。
2. 對(duì)介觀物鏡的測(cè)量精度超過物鏡本身的精度水平华匾,并覆蓋其整個(gè)視場(chǎng)映琳。測(cè)試精度比參數(shù)值高5 - 10倍。
3. 使用D7系統(tǒng)可以保證客觀分析的完整蜘拉,從而證明其完善性成像特性萨西。
關(guān)于生產(chǎn)商:
Difrotec是超高精度光學(xué)表面成像領(lǐng)域的。
我們?cè)诠鈱W(xué)系統(tǒng)的數(shù)學(xué)建模和光學(xué)圖像處理方面擁有超過30年的經(jīng)驗(yàn)旭旭,在組裝計(jì)算機(jī)模型的開發(fā)谎脯、用于DUV和EUV光刻的高精度光學(xué)系統(tǒng)的調(diào)整和測(cè)試方面擁有30多年的經(jīng)驗(yàn),對(duì)應(yīng)用于測(cè)試具有廣泛參數(shù)的光學(xué)器件的點(diǎn)衍射波前進(jìn)行了超過8年的研究持寄。
我們開發(fā)源梭、設(shè)計(jì)和制造了商業(yè)化產(chǎn)品市場(chǎng)上可用的點(diǎn)衍射干涉儀。它結(jié)構(gòu)緊湊稍味,用戶友好型自動(dòng)相移干涉儀D7用于測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)表面圖和透射波前的質(zhì)量废麻。
D7作為通用儀器,具有多種計(jì)量工具的優(yōu)點(diǎn):繪制表面圖形模庐、揭示光學(xué)制造和組裝技術(shù)的特征和缺陷以及測(cè)試光學(xué)系統(tǒng)的圖像質(zhì)量烛愧。所有這些功能都具有很高的絕對(duì)精度 – 7 埃。
我們擁有一支活躍的團(tuán)隊(duì)掂碱,致力于硬件和PDI測(cè)量的軟件設(shè)計(jì)怜姿。因此,D7可以很容易地定制顶吮,為滿足您的研究或行業(yè)需求社牲。
我們是以客戶為導(dǎo)向的公司,我們了解每一個(gè)單個(gè)樣本可能非常獨(dú)特悴了。我們集思廣益搏恤,尋找更好的此類獨(dú)特樣品的解決方案。因此湃交,收集的經(jīng)驗(yàn)是不斷的在DifroMetric軟件中實(shí)現(xiàn)熟空,并內(nèi)置于我們的設(shè)備中。
上海昊量光電作為Difrotec在中國(guó)大陸地區(qū)主要的代理商搞莺,為您提供專業(yè)的選型以及技術(shù)服務(wù)息罗。對(duì)于D7點(diǎn)衍射激光干涉儀有興趣或者任何問題,都?xì)g迎通過電話才沧、電子郵件或者微信與我們聯(lián)系迈喉。
如果您對(duì)D7點(diǎn)衍射激光干涉儀有興趣绍刮,請(qǐng)?jiān)L問上海昊量光電的官方網(wǎng)頁(yè):
http://www.wjjzl.com/details-1071.html
歡迎繼續(xù)關(guān)注上海昊量光電的各大媒體平臺(tái),我們將不定期推出各種產(chǎn)品介紹與技術(shù)新聞挨摸。
更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電
關(guān)于昊量光電:
上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商孩革,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器得运、光學(xué)測(cè)量設(shè)備膝蜈、光學(xué)元件等,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工熔掺、光通訊饱搏、生物醫(yī)療、科學(xué)研究置逻、國(guó)防推沸、量子光學(xué)、生物顯微诽偷、物聯(lián)傳感坤学、激光制造等;可為客戶提供完整的設(shè)備安裝报慕,培訓(xùn)深浮,硬件開發(fā),軟件開發(fā)眠冈,系統(tǒng)集成等服務(wù)飞苇。
您可以通過我們昊量光電的官方網(wǎng)站www.wjjzl.com了解更多的產(chǎn)品信息,或直接來電咨詢4006-888-532蜗顽。