本文主要講述了Semiconsoft公司的臺式薄膜測量系統(tǒng)的各種優(yōu)勢域庇。
膜厚測量原理（六）-臺式薄膜測量系統(tǒng)的優(yōu)勢
MPROBE20
數(shù)秒內(nèi)的薄膜測量
臺式MPROBE20可以快速宽档、簡便地測量厚度庵朝，光學(xué)常數(shù)（n和k）和透射率吗冤。這臺功能 齊全的儀器能測量1納米到1毫米厚的透光或半透光的薄膜。精度一般在幾個埃偿短。光斑大小可調(diào)節(jié)并且范圍很寬馋没。
超高的性價比
Semiconsoft很高興能提供突破性的低價格昔逗，使原本又困難又昂資的薄膜測量變得很便宜很簡單。
附件
多種不同的平臺篷朵，晶圓平臺和特殊測量探頭可適合大部分樣品的尺寸勾怒。
在線測量
針對制程應(yīng)用笔链，Semiconsoft的測量系統(tǒng)僅需要在光路上直視待測樣品，并提供與多種控割系統(tǒng)的接口腮猖。
把顯微鏡變成薄膜厚度測量工具
用于圖形化表面和光斑小至10微米的薄膜厚度測量應(yīng)用鉴扫。
MPROBE20可以方便地與絕大多數(shù)顯微鏡相連。標(biāo)淮c型精接器可以和測量點的ccd相機相連澈缺。
厚度測繪系統(tǒng)
將MPROBE20厚度測量功能和直觀操作作延伸為大面積樣品的自動測繪。
幾分鐘內(nèi)顯示樣品的均勻性姐赡。五不到數(shù)百個點 的掃描速度可達每秒1個點莱预。最大到12英寸晶圓的標(biāo)準(zhǔn)平臺。晶圓平臺可隨客戶需要自定项滑。
一般規(guī)格 | VIS | VISHR | VISNIR | NIR&NIRHR | UVVISR | UVVISF | UVVISNIR |
| 測量厚度范圍 | 10nm-75um | 1um-400um | 50nm-100um | 50nm-1800nm | 1nm-75um | 1nm-5um | 1um-150um |
| 光源 | 鹵素?zé)?/mark>（氙燈） | 鹵素?zé)簦療簦?氘燈 | |||||
| 波長范圍 | 400nm-1000nm | 700nm-110nm | 380nm-1700nm | 900nm-1700um 1500nm-1550nm | 200nm-1000nm | 200nm-1000nm | 200nm-1700nm |
| 準(zhǔn)確度(取較大者) | <0.2% 或1 nm | <0.1% 或1 nm | <0.2% 或1 nm | ||||
| 精度（分辨率） | <0.01nm或 0.01% | <0.1nm或 0.1% | |||||
| 穩(wěn)定性 | <0.02nm或 0.03% | <0.2nm或者 0.3% | |||||
光斑大小 | 標(biāo)準(zhǔn)1mm,最小0.5mm | ||||||
| 光源壽命 | 最高可達10000小時壽命 | ||||||
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