膜厚測量原理（二）-光譜反射基礎(chǔ)

正文

膜厚測量原理（二）-光譜反射基礎(chǔ)

單界面

當(dāng)光穿過不同物質(zhì)的界面時(shí)娘锁，反射就發(fā)生了。反射光的多少取決于n和k的不連續(xù)性饺鹃∧眩空氣中物質(zhì)的反射光公式： 

要了解如何用光譜反射測量光學(xué)常熟，假設(shè)光被無吸收物質(zhì)（k=0）反射的簡單情形悔详。就是

顯然镊屎，材料的折射率n可以通過測量反射率R來決定。實(shí)際情況下茄螃，折射率n隨波長變化（就是說缝驳，材料會發(fā)生色散）。但是因?yàn)橐呀?jīng)知道很多波長的反射率归苍，在這些波長下的折射率n就可以推算出來用狱，如上面的公式所示。

多層界面

現(xiàn)在考慮涂在材料上的一層薄膜拼弃。這種情形下夏伊，薄膜的頂部和底部都會反射光‰攘玻總反射光量是這兩部分反射光的疊加署海。因?yàn)楣獾牟▌有裕@兩部分反射光可能干涉相長（強(qiáng)度相加）或干涉相消（強(qiáng)度相減)医男，這取決于它們的相位關(guān)系砸狞。

而相位關(guān)系取決于這兩部分反射光的光程差，光程差又是由薄膜厚度镀梭，光學(xué)常數(shù)刀森，和光波長決定的。當(dāng)薄膜內(nèi)光程等于光波長的整數(shù)倍時(shí)报账，兩組反射光相位相同研底，因而干涉相長埠偿。當(dāng)光重直人射到透明薄膜時(shí)就是這種情形，即2nd =iλ榜晦，這里d薄膜厚度冠蒋，i是整數(shù)（系數(shù)2是因?yàn)楣獯┻^薄膜兩次）。

相反乾胶，薄膜內(nèi)光程是波長整數(shù)倍加半時(shí)抖剿，即 2nd=(i+1/2)λ時(shí)，兩組反射光相位相反识窿，因而干涉相消斩郎。反射率可以合成一個(gè)簡單公式：

從公式看出，薄膜反射率隨波長的倒數(shù)周期性地變化喻频，如下圖所示缩宜。在相同的波長下，較厚的薄膜產(chǎn)生更多的振蕩甥温，較薄的薄膜產(chǎn)生較少的振蕩锻煌，并且常常只有一個(gè)振蕩的一部分。

如果您對膜厚測量有興趣窿侈，請?jiān)L問上海昊量光電的官方網(wǎng)頁：

http://www.wjjzl.com/three-level-56.html

更多詳情請聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電

關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商炼幔，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器史简、光學(xué)測量設(shè)備乃秀、光學(xué)元件等，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工圆兵、光通訊跺讯、生物醫(yī)療、科學(xué)研究殉农、國防刀脏、量子光學(xué)、生物顯微超凳、物聯(lián)傳感愈污、激光制造等；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝轮傍，培訓(xùn)暂雹，硬件開發(fā)，軟件開發(fā)创夜，系統(tǒng)集成等服務(wù)杭跪。

您可以通過我們昊量光電的官方網(wǎng)站www.wjjzl.com了解更多的產(chǎn)品信息，或直接來電咨詢4006-888-532。