膜厚測量原理（五）-臺式薄膜測量系統(tǒng)的應用

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膜厚測量原理（五）-臺式薄膜測量系統(tǒng)的應用

使用Semiconsoft公司的先進光譜系統(tǒng)，可以很快燃观、很容易地測量厚度褒脯、折射率及消光系數(shù)。只要將Semiconsoft 系統(tǒng)插入您電腦的USB接口缆毁，就能開始測量番川。整個系統(tǒng)只需要幾分鐘來設定，只需要基本的電腦知識就能測量脊框。這種簡單的硬件系統(tǒng)和直觀的軟件為所有新用戶提供了薄膜知識颁督。 

從近紅外到紫外

系統(tǒng)能在波長200納米到1700納米 范圍內測量厚度從1納米到1.8毫米的薄膜。Semiconsoft 系統(tǒng)可測量幾乎所有常用材料做成的透光薄膜浇雹。

容易操作的軟件 

用戶能很快地掌握Semiconsoft軟件熟悉而又友好的界面适篙。測量一次大約一秒箫爷。測量數(shù)據(jù)，及測量細節(jié)能夠非常容易地通過標準Windows文件存盤和輸出虎锚。另外，公開的 NET 程序非常 容易地讓其他軟件來控制我們的測量軟件衩婚。

變復雜為簡便的測量 

測量和計算的反射光譜都被顯示出來窜护，這樣很容易判斷測量的完整性。測量的n和k曲線也可以非春。

半導體制程薄膜 

實驗室研究/制程

Semiconsoft測量系統(tǒng)通常用于測量氧化物柱徙，氮化物，光阻奇昙，及其它半導體制程薄膜的厚度护侮，粗糙度，和光學常數(shù)储耐。除了單層薄膜應用羊初，許多兩層和三層膜也可以測量。例如什湘，SOI應用中的硅基上的多晶硅/二氧化硅薄膜长赞。下邊的屏幕顯示一個典型建模結構的 測量結果。

在線測量

靈活的光學探頭裝置使在線厚度測量成為可能闽撤。需要的只是光纖接入以便測量垂直入射光反射率得哆。請與我們聯(lián)系以便了解更詳細的與您的設各相接的信息。

光學鍍膜

防刮傷和/或減反涂層是薄膜在很多工業(yè)中的應用哟旗。汽車塑料贩据，鏡片和很多塑料包裝都使用薄膜栋操。對硬涂層，一般先涂底漆以提高薄膜的附著力乐设。Semiconsoft 系統(tǒng)能夠同時或分別測量這些薄膜層的厚度讼庇，即使樣品背面有涂層也無妨。

平板顯示應用

合適的聚酰亞胺和光刻膠厚度對平板顯示器的生產至關重要近尚。除了測量這些材料蠕啄，Semiconsoft系統(tǒng)還測量空的或充滿的液晶間隙厚度。

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