橢偏成像技術(shù)（八）橢偏成像技術(shù)的未來展望

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橢偏成像技術(shù)（八）橢偏成像技術(shù)的未來展望

橢偏成像測量技術(shù)迄今發(fā)展僅二十幾年，仍然是一個(gè)新興的領(lǐng)域竣稽，有著廣闊的前景和巨大的發(fā)展空間囱怕。橢偏測量具有非接觸性、非破壞性毫别、測量精度高和適于測量較薄膜層的特點(diǎn), 成為了半導(dǎo)體業(yè)常用的薄膜測量工具娃弓。由于半導(dǎo)體制造業(yè)在器件關(guān)鍵尺寸上的測量要求越來越精確, 薄膜常用材料日益多樣化, 薄膜的結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜, 需要進(jìn)一步改進(jìn)橢偏儀。主要的發(fā)展趨勢可以分為如下幾個(gè)方面岛宦。

1） 光譜橢偏成像技術(shù)發(fā)展至今可以實(shí)現(xiàn)200-1000 nm波段的測量台丛，在對納米結(jié)構(gòu)的測量與表征中，可能需要獲得更短波段的偏振信息砾肺，從而達(dá)到更高的橫向分辨率挽霉，以分析樣品的特性。實(shí)現(xiàn)橢偏成像技術(shù)對更寬波段的測量是重要研究方向变汪。比如尋找較高強(qiáng)度的紅外光源, 拓寬橢偏儀的光譜范圍, 以準(zhǔn)確確定異質(zhì)結(jié)構(gòu)的多層膜結(jié)構(gòu);

2）在醫(yī)學(xué)方面的應(yīng)用中侠坎，橢偏成像技術(shù)可以和很多生物技術(shù)相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)各個(gè)層面的應(yīng)用裙盾。例如與人工智能技術(shù)相結(jié)合實(shí)時(shí)監(jiān)測病人身體的癌細(xì)胞实胸，及時(shí)做出反應(yīng)，配合醫(yī)生對患者進(jìn)行康復(fù)治療闷煤；

3）將橢偏成像技術(shù)的zui新發(fā)展實(shí)用化童芹，研制可用于工業(yè)生產(chǎn)過程中使用的成像橢偏儀，在半導(dǎo)體鲤拿、微電子等產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測；

4）通過解決圖像傳感器的低頻響應(yīng)和降低系統(tǒng)噪聲來減小圖像采集的誤差署咽；

5）建立包含成像橢偏儀的校準(zhǔn)因素的系統(tǒng)模型, 以減小成像橢偏儀的測量誤差;

6）對半導(dǎo)體工業(yè)常用薄膜材料建立準(zhǔn)確的物理模型, 以減小系統(tǒng)的計(jì)算誤差;

7）引入能夠同步進(jìn)行數(shù)據(jù)獲取和數(shù)據(jù)處理的控制系統(tǒng), 并利用優(yōu)化算法, 較快得出薄膜系統(tǒng)待求參量, 以提高橢偏儀的測量速度, 增強(qiáng)橢偏儀的在線檢測和控制功能近顷。

橢偏成像技術(shù)保持了傳統(tǒng)橢偏測量術(shù)非接觸式測量生音、對樣品無損害的優(yōu)點(diǎn)，并在測量上彌補(bǔ)了傳統(tǒng)橢偏測量技術(shù)的不足窒升，具有以下優(yōu)點(diǎn)：測量精度高缀遍，不僅可達(dá)到原子層量級的縱向靈敏度，還具有可達(dá)光學(xué)衍射極限的橫向分辨能力饱须，可以對精細(xì)橫向微結(jié)構(gòu)的納米層狀樣品進(jìn)行全表面測量域醇；非苛刻性，對待測樣品限制少蓉媳，可以實(shí)現(xiàn)多樣品測量譬挚；結(jié)果直觀，通過ccd成像酪呻，可以直觀地看到樣品形貌减宣，排除測量中的偽信號，從而使測量更加準(zhǔn)確⊥孳現(xiàn)在的橢偏成像技術(shù)在波長范圍漆腌、測量面積、精確度阶冈、測量速度等方面得到很大程度的改進(jìn)闷尿，可以獲得樣品包含整個(gè)視場的大面積區(qū)域內(nèi)的測量信息，實(shí)時(shí)觀測樣品的狀態(tài)女坑，實(shí)現(xiàn)大視場寬光譜測量填具，在納米薄膜、生物醫(yī)學(xué)等方面具有極大的應(yīng)用價(jià)值堂飞。 

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