橢偏成像技術(shù)（五）光譜橢偏成像的發(fā)展（第三部分）

正文

橢偏成像技術(shù)（五）光譜橢偏成像的發(fā)展（第三部分）

下圖為使用日本東北大學(xué)的系統(tǒng)獲得的硅襯底上的二氧化硅納米薄膜的厚度分布。

硅襯底上的二氧化硅薄膜厚度分布

厚度刨面在1.10 mm×2.21 mm的面積上幾乎是平坦的锅锨，在水平和垂直方向上的空間分辨率分別為 1.58μm 和4 62μm叽赊。該系統(tǒng)與光譜橢偏之間的平均厚度差小于3nm，盡管包含大量的數(shù)據(jù)點(diǎn)必搞，測(cè)量結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)值的偏差小于2.5nm必指。

通過(guò)與磁光調(diào)制、時(shí)間相移和雙反射等技術(shù)的結(jié)合恕洲，光譜橢偏技術(shù)提高了測(cè)量速度和準(zhǔn)確性塔橡。通過(guò)與Muller矩陣的結(jié)合，光譜橢偏技術(shù)不再受光學(xué)分辨率極限的限制谱邪，提高了測(cè)量的準(zhǔn)確性，可以獲得更豐富的信息庶诡。

2019年華中科技大學(xué)發(fā)明了基于液晶調(diào)相的垂直物鏡式Muller矩陣成像橢偏儀惦银，該儀器所用系統(tǒng)改變了之前普通傾斜鏡面成像的結(jié)構(gòu)，根本上避免了焦深小、視場(chǎng)窄的問(wèn)題扯俱，可實(shí)現(xiàn)高分辨率书蚪、寬視場(chǎng)測(cè)量，可用于對(duì)納米薄膜幾何參數(shù)的測(cè)量迅栅。

2018年韓國(guó)朝鮮大學(xué)提出用于表征多層膜結(jié)構(gòu)的大面積光譜成像橢偏儀殊校，利用寬帶光源和成像光譜儀，光譜范圍可以達(dá)到400-800nm读存。準(zhǔn)直光束通過(guò)擴(kuò)束器擴(kuò)展为流，直徑達(dá)到30mm，通過(guò)低放大率成像透鏡得到旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器旋轉(zhuǎn)引起的偏振變化的光譜空間強(qiáng)度圖像让簿，該圖像可以表征相對(duì)較大區(qū)域的薄膜厚度剖面敬察，橫向分辨率也已經(jīng)達(dá)到4μm。至此尔当，橢偏成像技術(shù)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)大視場(chǎng)莲祸、寬光譜成像椭迎，可以應(yīng)用在更多方面锐帜。

根據(jù)測(cè)量的要求，橢偏成像技術(shù)可以用作定性技術(shù)畜号、準(zhǔn)定量技術(shù)或完全定量技術(shù)缴阎。但是在進(jìn)行完全定量測(cè)量時(shí)，需要更精確的校準(zhǔn)简软、校正和計(jì)算药蜻。2019年，中科院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所針對(duì)Muller矩陣成像橢偏儀的系統(tǒng)誤差源提出了一種新的簡(jiǎn)化分析法替饿，分析了成像橢偏儀的系統(tǒng)誤差源和隨機(jī)誤差源對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響贸典，適用于Muller矩陣成像橢偏儀的誤差評(píng)定视卢、誤差源指標(biāo)分解及元件誤差補(bǔ)償。

國(guó)外橢偏成像研究開(kāi)始比較早廊驼，以橢偏成像技術(shù)為基礎(chǔ)的科技研發(fā)較為迅速据过，科研人員所研制出的各種成像橢偏儀器也逐漸商品化。截至目前妒挎，橢偏成像技術(shù)已經(jīng)在各個(gè)應(yīng)用方面得到比較全面的發(fā)展绳锅。國(guó)內(nèi)橢偏成像技術(shù)雖然起步較晚，但經(jīng)過(guò)研究人員的不斷鉆研酝掩，發(fā)展較為迅速鳞芙，從開(kāi)始的基于消光式橢偏儀的橢偏成像測(cè)量技術(shù)發(fā)展到全Mueller矩陣型橢偏成像測(cè)量技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了大面積寬光譜測(cè)量 原朝，已基本走向了成熟驯嘱，不亞于國(guó)外橢偏成像技術(shù)。

如果您對(duì)橢偏儀相關(guān)產(chǎn)品有興趣喳坠，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)上海昊量光電的官方網(wǎng)頁(yè)：

http://www.wjjzl.com/three-level-56.html

相關(guān)文獻(xiàn)：

1薛利軍, 李自田, 李長(zhǎng)樂(lè), 等 . 光譜成像儀 ccd 焦平 面組件非均勻性校正技術(shù)研究[J]. 光子學(xué)報(bào), 2006, 35(5): 693-696.

2游海洋, 賈建虎, 陳劍科, 等 . 面陣 CCD 探測(cè)的全自 動(dòng)橢圓偏振光譜系統(tǒng)研究[J]. 紅外與毫米波學(xué)報(bào), 2003, 22(1): 45-50.

3陳修國(guó), 袁奎, 杜衛(wèi)超, 等 . 基于 Mueller 矩陣成像橢 偏儀的納米結(jié)構(gòu)幾何參數(shù)大面積測(cè)量[J]. 物理學(xué)報(bào), 2016, 65(7): 070703.

4王戰(zhàn)會(huì), 靳剛 . 光學(xué)橢偏成像技術(shù)在生物分子研究中 的應(yīng)用[J]. 生物工程學(xué)報(bào), 2000, 16(4): 429-432. 

5包學(xué)誠(chéng) . 橢偏儀的結(jié)構(gòu)原理與發(fā)展[J]. 現(xiàn)代科學(xué)儀 器, 1999(3): 58-61.

6張恒 . 基于光度法及混合法的自動(dòng)橢偏儀研究[D]. 廣州: 華南師范大學(xué), 2005: 21-30

7崔高增 . 深紫外成像光譜橢圓偏振儀校準(zhǔn)方法研究 [D]. 北京：北京工業(yè)大學(xué), 2014: 12-16.

8吳啟宏 . 與消光式兼容的光度橢偏儀的原理[J]. 光學(xué) 學(xué)報(bào), 1987, 7(7): 618-621.

9張?jiān)?連潔;魏銘洋;姜清芬;王宸琳;王月明;許鎮(zhèn);.橢偏成像技術(shù)研究進(jìn)展[J].激光與光電子學(xué)進(jìn)展,2022(10).

10代恒 . 立式成像橢偏儀研制及應(yīng)用[D]. 武漢: 華中科 技大學(xué), 2018: 7-10.

更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電

關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商鞠评，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器壕鹉、光學(xué)測(cè)量設(shè)備剃幌、光學(xué)元件等晾浴，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工负乡、光通訊、生物醫(yī)療怠肋、科學(xué)研究敬鬓、國(guó)防、量子光學(xué)笙各、生物顯微钉答、物聯(lián)傳感、激光制造等杈抢；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝数尿，培訓(xùn)，硬件開(kāi)發(fā)右蹦，軟件開(kāi)發(fā)，系統(tǒng)集成等服務(wù)歼捐。

您可以通過(guò)我們昊量光電的官方網(wǎng)站www.wjjzl.com了解更多的產(chǎn)品信息何陆，或直接來(lái)電咨詢4006-888-532。