MProbeVis-MSP(400-1000nm波長范圍洞难，10nm至50um厚度范圍)提供非破壞性測量解決方案舆吮，以確定硅層的厚度。測量可以很容易地完成從該批選定的產品队贱。在線測量需要額外的持有人和自動化旋轉和移動注射器映射薄膜厚度分布色冀。內聯(lián)系統(tǒng)采用大功率Xe閃光光源，外加TH燈可選柱嫌，實現(xiàn)快速測量锋恬。
石英注射器厚度測量
可預填充的玻璃注射器盒由制造商清洗，硅化编丘，消毒和包裝与学。硅化的注射器桶是非常重要的-它作為潤滑劑彤悔，使柱塞滑動順利。它還提供疏水層索守，防止藥物與玻璃表面相互作用晕窑。硅化不足和硅化過度都會引起問題。在現(xiàn)代生產中卵佛，大多數(shù)硅化都是使用“烘烤”工藝杨赤，即先噴灑硅乳液，然后再烘烤以形成永久層截汪。硅層厚度和均勻性的生產控制是產品質量控制的重要內容疾牲。
由于桶的高曲率，測量是用一個小點(20um到40um)完成的衙解。
圖1a 注射器盒放置在MProbeVis-MSP表上说敏。
顯示了測量點的位置(“round measure”是旋轉注射器時測量的點)
圖1b 注射器筒沿7個不同點測得的反射光譜
圖2 測量結果的實例厚度是通過將硅化層模型擬合到測量數(shù)據(jù)來確定的
圖3 測量結果示例(薄層)。厚度是通過將硅化層模型擬合到測量數(shù)據(jù)來確定的
圖4 測量結果示例(厚層)丢郊。厚度是通過將硅化層模型擬合到測量數(shù)據(jù)來確定的
圖5 測量了沿注射器筒的硅層厚度分布
圖6 測量硅化層厚度分布-測量旋轉注射器
圖7 測量未涂覆(上二)和涂覆/硅化(下三)3ml注射器桶的反射光譜盔沫。涂層為~150nm
圖8 注射器筒上硅化層厚度測量結果。模型與實測數(shù)據(jù)的擬合
硅化瓶
與注射器類似枫匾，玻璃小瓶內部是硅化的架诞，以防止藥物與玻璃中的摻雜劑/污染物發(fā)生反應。這種涂層的厚度通常比注射器薄干茉。
圖9 標有測量點的小瓶
表1 測量結果(瓶內硅化層的厚度)測量使用40um點尺寸完成
圖10 測量點的原始反射光譜(與未涂膜小瓶比較)
圖11 測量實例的結果(模型與實測數(shù)據(jù)的擬合)
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