昊量光電推出“PIEZOCONCEPT”公司高精度單軸杈曲、雙軸驰凛、三軸納米級位移壓電位移臺、物鏡掃描臺、快反鏡系列產(chǎn)品涌献;該壓電平臺以壓電陶瓷為驅(qū)動,采用了柔性鉸鏈連接的方法燕垃,具備精確導向性枢劝、高穩(wěn)定性利术、高抗疲勞性的特點,同時搭配高精度硅基位移傳感器印叁、16Bit高分辨率高速控制器被冒,具有高響應速度昨悼,亞納米級的分辨率,超低底噪(10-50pm)和超高線性度(0.02%)跃洛,廣泛應用于高精密位移方向,包括但不局限于半導體領(lǐng)域葱蝗;該系列產(chǎn)品包括X軸、Z軸單軸位移平臺细燎,XY軸雙軸玻驻、XYZ軸三軸位移平臺悼凑、FOC系列物鏡掃描臺,一維户辫、二維快反鏡渐夸。
高精度納米級壓電位移平臺“PIEZOCONCEPT”披坏!
--半導體界后摩爾時代的手術(shù)刀。
第三代半導體是后摩爾時代實現(xiàn)芯片性能突破的核心技術(shù)之一盐数,優(yōu)越性能和廣泛的下游應用使相關(guān)廠商存在良好發(fā)展前景棒拂。隨著下游終端需求改善,下游結(jié)構(gòu)升級及國產(chǎn)替代是半導體界發(fā)展的趨勢玫氢。然而運動控制核心部件對于眾多產(chǎn)業(yè)布局,往往起到了關(guān)鍵性作用漾峡;高精度納米級壓電位移平臺,仍然是眾多企業(yè)亟不可待的關(guān)鍵產(chǎn)品生逸。
昊量光電推出“PIEZOCONCEPT”公司高精度納米級壓電位移平臺系列產(chǎn)品槽袄,它的產(chǎn)品猶如一把手術(shù)刀烙无,具備精確遍尺、鋒利截酷、專業(yè)、值得信任的特點乾戏;它代表著高精度迂苛、高穩(wěn)定性、高響應速度惯退、高抗疲勞性赌髓。
下面對“PIEZOCONCEPT”產(chǎn)品進行詳細的介紹:
1.PIEZOCONCEPT單軸位移平臺
PIEZOCONCEPT單軸位移平臺產(chǎn)品是可以在單個維度上提供精確定位的產(chǎn)品,主要包含X軸壓電平臺锁蠕、Z軸壓電平臺夷野、物鏡掃描臺荣倾、快速反射鏡。
X軸產(chǎn)品圖片
Z軸產(chǎn)品圖片
一維掃描平臺
一維快反鏡
2.PIEZOCONCEPT兩軸位移平臺
兩軸壓電平臺可以提供兩個維度上的平移或偏轉(zhuǎn)妒貌,主要包括XY二維壓電納米位移臺和二維快反鏡铸豁。
XY軸壓電平臺
二維快反鏡
3.PIEZOCONCEPT三軸位移平臺
XYZ軸壓電平臺
4. PIEZOCONCEPT位移臺獨特優(yōu)勢
昊量光電推出“PIEZOCONCEPT”高精度單軸、雙軸节芥、三軸納米級壓電位移臺、物鏡掃描臺蚣驼、快反鏡系列產(chǎn)品;該壓電平臺以壓電陶瓷為驅(qū)動相艇,采用了柔性鉸鏈連接的方法,具備精確導向性坛芽、高穩(wěn)定性留储、高抗疲勞性的特點靡馁,同時搭配高精度硅基位移傳感器欲鹏、16Bit高分辨率高速控制器,具有高響應速度臭墨,亞納米級的分辨率,超低底噪(10-50pm)和超高線性度(0.02%)胧弛,廣泛應用于高精密位移領(lǐng)域,包括但不局限于半導體領(lǐng)域结缚。
功能的獨特優(yōu)勢包括:
亞微米級別的重復定位精度
穩(wěn)定性遠遠優(yōu)于同類產(chǎn)品
0-1500微米級的移動范圍
傳統(tǒng)壓電位移臺的特點 | PIEZOCONCEPT壓電位移臺的優(yōu)勢 |
-分辨率的局限 | 高分辨率:0.005nm/urad(Max) |
-有限的運動軌跡范圍,平均0-300um移動范圍 | 0-1500um移動范圍 |
-較低線性度 | 超高線性度(0.02%) |
-位移傳感器存在差異(以電容傳感器為主)红竭,鉸鏈存在無效運動 | 采用高精度硅基位移傳感器與柔性鉸鏈具備高可靠喘落、長壽命 |
-較高的底噪
|
超低底噪(10-50pm) |
-速度的局限 |
超高速:諧振頻率7000Hz(Max) |
5.PIEZOCONCEPT使用什么類型的傳感器最冰?為什么它優(yōu)于其他傳感器技術(shù)?
PIEZOCONCEPT使用單晶硅傳感器暖哨,稱為硅基位移傳感器赌朋。盡管它是應變傳感器大家族的一部分篇裁,但它優(yōu)于其他兩種常用傳感器(電容式傳感器和金屬應變傳感器)沛慢。這兩種傳感器與PIEZOCONCEPT單晶硅傳感器相比都有明顯的缺點。
電容式傳感器與PIEZOCONCEPT硅基位移傳感器相比团甲,對以下方面很敏感:
?氣壓變化:空氣的介電常數(shù)取決于氣壓往枣。測量將受到任何壓力變化的影響。
?溫度變化:空氣的介電常數(shù)也會隨溫度變化分冈。
?污染物的存在雕沉。
以上所有這些都會導致納米級的一些不穩(wěn)定性,即使可以對空氣壓力和溫度進行校正去件,也不可能校正其它因素(污染物坡椒、排氣)的影響尤溜。這解釋了電容式傳感器在真空環(huán)境中性能不佳的原因倔叼。此外,電容傳感器非常昂貴和笨重宫莱。硅HR傳感器技術(shù)是一種固態(tài)技術(shù)授霸,它的電阻不依賴于空氣壓力或污染物的存在巡验。其次碘耳,雖然溫度變化對測量有影響(主要是因為材料的熱膨脹)辛辨,但這可以通過使用傳感器陣列進行校正瑟枫。基本上指攒,PIEZOCONCEPT在每個軸上使用兩個平行的硅傳感器力奋,一個用于測量,另一個用于考慮溫度變化引起的材料膨脹景殷。
6.金屬應變傳感器與PIEZOCONCEPT硅基位移傳感器的比較澡屡。
金屬應變傳感器和PIEZOCONCEPT硅基位移傳感器之間的差異更大猿挚。
第1個區(qū)別是應變系數(shù):半導體應變傳感器(硅基位移傳感器)的應變系數(shù)大約是金屬應變傳感器的100倍。更高的應變系數(shù)導致更高的信噪比绩蜻,zui終導致更高穩(wěn)定性。
第2個區(qū)別是金屬應變傳感器不能直接安裝在撓曲裝置上(也就是實現(xiàn)運動的地方):金屬應變傳感器必須安裝在某種“背襯”上办绝,這就導致了壓電致動器存在蠕變或滯后現(xiàn)象。由于壓電致動器的膨脹不均勻姚淆,因此僅測量致動器的一部分伸長率無法精確推導其完整伸長率。硅基位移傳感器是通過對撓曲本身進行測量降淮,不存在這種“不均勻性”問題搏讶。
綜上所述佳鳖,硅基位移傳感器在環(huán)境背景中優(yōu)于電容式傳感器,在信噪比和穩(wěn)定性方面優(yōu)于金屬應變傳感器媒惕。
關(guān)于生產(chǎn)商:
法國PIEZOCONCEPT壓電納米平移臺
PIEZOCONCEPT是納米壓電位移平臺的供應商,產(chǎn)品應用包括但不限于超分辨率顯微鏡穿挨、光學捕獲和原子力顯微鏡。產(chǎn)品已被各國高校和從事前沿研究的科學家使用面睛。
多年來,電容式傳感器一直占據(jù)著市場主導地位叁鉴。不幸的是土涝,這項技術(shù)顯示出了一些局限性。為了滿足現(xiàn)代顯微鏡技術(shù)對分辨率的更高要求幌墓,PIEZOCONCEPT自行創(chuàng)建了一種實現(xiàn)更大穩(wěn)定性和線性度的新方法冀泻。
PIEZOCONCEPT的目標是找到一個優(yōu)雅蜡饵、經(jīng)濟高效的解決方案溯祸,以提供準確和穩(wěn)定的定位肢专。其開發(fā)了一系列超穩(wěn)定納米位移平臺,用于多種應用博杖,與市場上已有的產(chǎn)品相比具有顯著優(yōu)勢。它的硅基傳感器技術(shù)提供了這樣的優(yōu)勢筷登,該技術(shù)優(yōu)于電容傳感器與金屬傳感器剃根。通過簡單而高效的柔性設計和超低噪聲電子器件,PIEZOCONCEPT的壓電平臺提供皮米級穩(wěn)定性和亞納米級(或亞納米弧度)噪聲基底狈醉。
上海昊量光電作為PIEZOCONCEPT在中國大陸地區(qū)du家代理商惠险,為您提供專業(yè)的選型以及技術(shù)服務。對于PIEZOCONCEPT產(chǎn)品有興趣或者任何問題莺匠,都歡迎通過電話、電子郵件或者微信與我們聯(lián)系。
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