光譜型橢偏儀的校準(zhǔn)（七）-橢偏儀校準(zhǔn)方案

正文

光譜型橢偏儀的校準(zhǔn)（七）-橢偏儀校準(zhǔn)方案

樣片考核完成后歧斟，使用制備的膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣片對(duì)光譜型橢偏儀的橢偏角進(jìn)行校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)。 

校準(zhǔn)方案 

被校橢偏儀光譜范圍 245-1000nm偏形，入射角度 65°：標(biāo)準(zhǔn)樣片標(biāo)稱厚度為 2nm,50nm,500nm静袖，樣片橢偏角標(biāo)準(zhǔn)值通過Matlab按照樣片的厚度量值進(jìn)行份真得到：校準(zhǔn)環(huán)境(20Z±3)°，相對(duì)濕度40%-60%俊扭。校準(zhǔn)時(shí)队橙，分別使用3個(gè)樣片對(duì)光譜型橢偏儀進(jìn)行校準(zhǔn)，每個(gè)樣片測(cè)量10次萨惑，取10次結(jié)果的平均值作為橢偏角的測(cè)量結(jié)果捐康，橢偏角偏差計(jì)算公式為 

式中：

----波長(zhǎng)取樣點(diǎn)上光譜型橢偏儀測(cè)量得到的橢偏角；

校準(zhǔn)結(jié)果與分析 

按照校準(zhǔn)方案使用標(biāo)準(zhǔn)樣片對(duì)光譜型橢偏儀進(jìn)行校準(zhǔn)咒钟，校準(zhǔn)結(jié)果如下圖所示吹由。通過校準(zhǔn)發(fā)現(xiàn)，仿真結(jié)果與測(cè)量結(jié)果匹配的非常好：2nm 樣片仿真結(jié)果與測(cè)量結(jié)果的偏差在±0.6°以內(nèi)朱嘴；50 nm 樣片仿真結(jié)果與測(cè)量結(jié)果的偏差在±1.50°以內(nèi)倾鲫；500nm 樣片仿真結(jié)果與測(cè)量結(jié)果的偏差在±2°以內(nèi)。為了驗(yàn)證橢偏角偏差在以上范圍內(nèi)對(duì)薄膜厚度測(cè)量結(jié)果的影響萍嬉，使用自編的薄膜厚度擬合算法進(jìn)行驗(yàn)證乌昔，驗(yàn)證結(jié)果見下表。

由驗(yàn)證結(jié)果可知：使用樣片對(duì)橢偏儀校準(zhǔn)后壤追，橢偏角偏差對(duì)薄膜厚度的影響不超過±0.5 nm磕道，該結(jié)果與CCQM-K32膜厚量值國(guó)際比對(duì)中橢偏儀給定的測(cè)量不確定度 U=0.53nm 是相當(dāng)?shù)模纱丝勺C明采用樣片測(cè)量法對(duì)光譜型橢偏儀進(jìn)行校準(zhǔn)是一種可行的方法行冰。

橢偏角偏差對(duì)膜厚的影響結(jié)果

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相關(guān)文獻(xiàn)：

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