偏振光波通過介質(zhì)時(shí)與介質(zhì)發(fā)生相互作用,這種相互作用將改變光波的偏振態(tài),測(cè)出這種偏振態(tài)的變化,進(jìn)而進(jìn)行分析擬合,得出我們想要的信息。
橢偏儀（八）-橢偏儀測(cè)量薄膜的優(yōu)點(diǎn)和特點(diǎn)
測(cè)量薄膜其實(shí)并非僅僅只有使用橢偏儀來測(cè)量改备，但為何我們光學(xué)人更加偏愛使用橢偏儀來測(cè)量薄膜厚度呢？在這里那就不得不說說我們使用橢偏儀測(cè)量薄膜的優(yōu)點(diǎn)和特點(diǎn)了：
(1) 測(cè)量的對(duì)象廣泛,可以測(cè)量透明膜,無膜固體樣品,多層膜,吸收膜和眾多性能不同蔓倍、厚度不同悬钳、吸收程度不同的薄膜,甚至是強(qiáng)吸收的薄膜盐捷。
(2) 被測(cè)量的薄膜大小尺寸可以很小,只要 1ｍｍ即可測(cè)量,小于光斑的大小
(3) 方式靈活,既可以測(cè)量反射膜,也可以測(cè)量透射膜。
(4) 測(cè)量的速度很快默勾。
(5) 在各種粒子束分析測(cè)試技術(shù)中,光束引起的表面損傷以及導(dǎo)致的表面結(jié)構(gòu)改變是zui小的碉渡。
(6) 在橢偏光譜中,被測(cè)對(duì)象的結(jié)構(gòu)信息(電子的、幾何的)是蘊(yùn)含在反射(或透射)出來的偏振光束中,通過光束本身與物質(zhì)相互作用前后產(chǎn)生的偏振狀態(tài)(振幅灾测、相位)的改變反映出來爆价。
(7) 測(cè)量精度高。橢偏光譜的工作原理雖然建立在經(jīng)典電磁波理論上,但實(shí)際上它有原子層級(jí)的靈敏度媳搪。對(duì)薄膜的測(cè)量準(zhǔn)確度可以達(dá)到1nm,相當(dāng)于單原子層的厚度铭段。
(8) 非苛刻性測(cè)量。樣品可以是塊體材料與薄膜,由于它可測(cè)得物質(zhì)在一個(gè)波長范圍內(nèi)介電函數(shù)的實(shí)部和虛部,信息量較多,可對(duì)固體樣品作精細(xì)分析秦爆。
能同時(shí)分別測(cè)量出幾個(gè)物理量序愚。橢偏光譜可直接得到光學(xué)常數(shù)的實(shí)部和虛部,不需要Ｋ-Ｋ關(guān)系.
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