介紹完光在各向同性且均勻的界面反射原理以后获列，下面我們來介紹橢偏測(cè)量原理谷市。
橢偏儀（三）-橢偏測(cè)量原理
假設(shè)有一束單色光，振幅為 Ei與直角坐標(biāo)系x軸的夾角為α击孩，將其分解為沿直角坐標(biāo)系x軸的p光和沿直角坐標(biāo)系y軸的s光迫悠。則入射光p光和s光的振幅分別為Eip和 Eis，入射光經(jīng)過薄膜的反射后p光和s光的振幅分別變?yōu)镋iprp和Eisrs巩梢，相應(yīng)的相位變?yōu)棣?sub>rp和δrs创泄，故p光和s光的反射光電矢量分別為
消去時(shí)間因子t，便可得到反射波電矢量末端的運(yùn)動(dòng)軌跡：
式中：Δ=δrp -δrs括蝠。上式實(shí)際上就是橢圓方程鞠抑。
也就是說線偏振光入射，與待測(cè)樣品發(fā)生相互作用后忌警，由于p光和s光的反射率不同搁拙，反射光不再是線偏振光，而變成了橢圓偏振光法绵，引入?yún)⒘縯anΨ和Δ箕速，Δ表示p光分量和s光分量的相位差，tanΨ 表示反射后兩個(gè)分量振幅比 Erp /Ers朋譬。定義
ρ由各層薄膜的折射率盐茎、消光系數(shù)和膜層厚度等參量決定，故可表達(dá)為
式中：n1徙赢、n2和n3分別為空氣字柠、薄膜和襯底的折射率；k2和k3分別為薄膜和襯底的消光系數(shù)狡赐。通過對(duì)Ψ和Δ的擬合募谎，可以得出被測(cè)物體的參量。
橢偏技術(shù)按采樣原理可以分為消光式和光度式 阴汇，也稱為零橢偏法與非零橢偏法。消光式橢偏測(cè)量方法在每一個(gè)波長(zhǎng)通過旋轉(zhuǎn)起偏器和補(bǔ)償器后尋找到合適的角度节槐，使經(jīng)樣品反射后的偏振光為線性偏振光搀庶，然后調(diào)整檢偏器角度產(chǎn)生消光效果后，記錄此時(shí)檢偏器和起偏器相對(duì)于入射平面的角度铜异，計(jì)算出樣品對(duì)應(yīng)的參數(shù)哥倔。光度式橢偏測(cè)量方法則是對(duì)探測(cè)器接收到的光強(qiáng)進(jìn)行傅里葉分析，推導(dǎo)出所測(cè)樣品的特性揍庄，并不需要測(cè)量角度咆蒿，盡可能排除了人為誤差，測(cè)量速度快，但其非線性效應(yīng)大沃测。
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