橢偏成像技術(shù)的測(cè)量基于傳統(tǒng)橢偏測(cè)量術(shù)，即用偏振光波為探測(cè)光照射樣品焕梅，樣品對(duì)入射光波進(jìn)行調(diào)制迹鹅，使得反射光中載有樣品的信息。
橢偏儀（二）-光在各向同性且均勻的界面反射原理
橢偏成像技術(shù)的測(cè)量基于傳統(tǒng)橢偏測(cè)量術(shù)斜棚，即用偏振光波為探測(cè)光照射樣品，樣品對(duì)入射光波進(jìn)行調(diào)制该窗，使得反射光中載有樣品的信息弟蚀。橢偏測(cè)量系統(tǒng)包括三個(gè)基本部分：起偏部分、樣品部分和檢偏部分酗失。起偏部分用于產(chǎn)生偏振態(tài)已知的橢圓偏振探測(cè)光义钉；補(bǔ)償器和起偏器相結(jié)合可以產(chǎn)生任意形態(tài)的橢圓偏振，探測(cè)光傾斜入射到樣品表面级零，與樣品相互作用使得反射光偏振態(tài)發(fā)生變化断医，從而載有樣品信息；反射光經(jīng)過(guò)檢偏器后變成線偏振光奏纪，通過(guò)顯微成像系統(tǒng)，橢偏成像在 ccd 相機(jī)等圖像傳感器上序调；攝像機(jī)采集的模擬信號(hào)通過(guò)視頻顯示器顯示醉锅，并進(jìn)一步經(jīng)圖像采集卡進(jìn)行A/D轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)變成數(shù)字圖像文件進(jìn)入到計(jì)算機(jī)发绢。通過(guò)計(jì)算機(jī)硬耍，對(duì)數(shù)字圖像文件進(jìn)行分析獲得樣品的信息。
一束單色光投射在一各向同性且材質(zhì)均勻的界面上边酒，上半部分折射率為n1经柴，下半部分折射率為n2，光會(huì)在界面處發(fā)生反射和折射墩朦，如下圖所示坯认。
示意圖 單色光在各向同性且材質(zhì)均勻的界面上的反射和折射
其中Eip、Erp和Etp分別為p光的入射氓涣、反射和折射電矢量牛哺，Eis劳吠、Ers和Ets分別為s光的入射引润、反射和折射電矢量，θ1和θ2為入射角和折射角痒玩。光波電矢量可以分解為振動(dòng)方向平行于入射面的p光和振動(dòng)方向垂直于入射面的s光淳附。分別定義p光和s光的反射系數(shù)rp和rs，由麥克斯韋方程組和邊界條件蠢古，能夠推導(dǎo)出p光、s光的反射系數(shù)與介質(zhì)折射率便瑟、入射角和折射角的關(guān)系缆毁，即菲涅耳反射系數(shù)。
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