偏振光波通過介質(zhì)時與介質(zhì)發(fā)生相互作用,這種相互作用將改變光波的偏振態(tài),測出這種偏振態(tài)的變化,進(jìn)而進(jìn)行分析擬合,得出我們想要的信息悼枢。
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橢偏儀（五）-橢偏儀數(shù)據(jù)處理模型-第1部分
采用光學(xué)方法可以對許多固體材料的宏觀和微觀物理性質(zhì)進(jìn)行深入研究,其中比較直接的方法就是測量材料的光學(xué)常數(shù)隨光子能量或波長的變化關(guān)系,從而與微觀機(jī)理相聯(lián)系,來認(rèn)識和理解光與物質(zhì)相互作用的本質(zhì).橢偏光譜不直接測算光強(qiáng),而是從相位空間尋找材料的光學(xué)信息.橢圓偏振測量法由于其測量精度高埠忘、非破壞性而被廣泛應(yīng)用于薄膜的各種特性的測量。
偏振光波通過介質(zhì)時與介質(zhì)發(fā)生相互作用,這種相互作用將改變光波的偏振態(tài),測出這種偏振態(tài)的變化,進(jìn)而進(jìn)行分析擬合,得出我們想要的信息馒索。用薄膜的橢圓函數(shù)ρ表示薄膜反射線形成橢圓偏振光的特性,即
式中：tanψ表示反射光的兩個偏振分量的振幅系數(shù)之比,ψ稱偏振角莹妒；rp表示反射光在Ｐ平面的偏振分量；rs表示反射光在Ｓ平面的偏振分量绰上。
橢偏儀數(shù)據(jù)處理模型的建立是至關(guān)重要的一步,如果不能建立一個與參數(shù)匹配良好的模型,前面的測試就毫無意義,甚至如果建立一個錯誤的模型,其結(jié)果將與真實(shí)值南轅北轍,誤導(dǎo)我們的實(shí)驗旨怠。下面列出幾種材料的物理模型：
1.NK模型 它用于已知組分的同類多層膜；
2.柯西模型 它適用于透明材料,如 Al2O3蜈块、SiO2鉴腻、MgF2、SiN4百揭、TiO2爽哎、ITO、KCl等器一。我們用Cauchy公式表達(dá)材料在透明波段的光學(xué)常數(shù)具有較高的精確度：
其中Aj為經(jīng)驗參數(shù)课锌；
3.柯西指數(shù)模型 它與柯西模型不同的是吸收系數(shù)隨頻率指數(shù)變化,它適用于堿鹵化物,堿土金屬的氟化物、氧化物和半導(dǎo)體(可見光和紅外波段的Si,GaAs)等祈秕；
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