建立了用于波片位相延遲測量的高精度多功能測試系統(tǒng)，實現(xiàn)了在同一測試系統(tǒng)上應用不同的測試方法坦冠，使測試具有可比性形耗。對光譜掃描法、Soleil補償器法及兩種光強法進行了比較測量辙浑，并結合測試結果對各種方法進行了系統(tǒng)的誤差分析激涤。
橢偏儀與偏振相位（三）-補償法的原理及誤差分析
補償法
1.測量原理
補償法是利用位相補償器件將由待測元件產(chǎn)生的位相延遲補償為0(或2π)，從而測量波片位相延遲。通常有λ／4波片補償法(Senamont法和Tardy法)和Soleil補償器法倦踢。λ／4波片補償法由于需要已知某波長處精確的λ／4波片送滞，而且測不同波長的位相延遲需要不同波長的λ／4波片，所以此方法在高精度測量中并不可取辱挥，這里不再贅述犁嗅。而Soleil補償器的位相延遲連續(xù)可調，適用于不同波長延遲的測量晤碘，下面討論這種方法褂微。測試系統(tǒng)由起偏器、檢偏器园爷、待測元件和Soleil補償器構成宠蚂。通常起偏器和檢偏器正交放置，Soleil補償器的光軸與待測元件的光軸垂直且與起偏器的夾角為45°童社。若以表示Soleil補償器的延遲求厕，則系統(tǒng)的透過光強可表示為：
上式可見，當
時扰楼，系統(tǒng)透過光強zui小呀癣。因此測量時具體操作是，調整Soleil補償器使系統(tǒng)消光灭抑，記錄此時Soleil的光楔位置讀數(shù)為t十艾；然后將待測元件移出光路，對Soleil進行自定標腾节，即將分別調整到0和2π，將對應光楔位置讀數(shù)分別記作
及
荤牍，則待測波片的延遲值為：
Soleil補償器法僅需測量相對的光強案腺，對光路及探測儀器有一定的寬容性。在尋找消光位置時采用“等偏離法”以進～步提高測量精度康吵。
2.誤差分析
Soleil補償器法的誤差分析的推導較為復雜劈榨，故這里僅給出結論，見下表1晦嵌。其中
表示Soleil補償器光軸與起偏器透光軸的夾角同辣。
消光比 | 帶寬 | θ |
| Ω* | Soleil** |
忽略 | 忽略 | 忽略 | 忽略 | 0.017° | 0.18% |
表1 Soleil補償器法的各項誤差
*表示此項誤差與待測元件延遲有關，當
=90°時惭载，影響zui大旱函，Δ
=0.017°；當
=180°時描滔，則影響可以忽略棒妨。
**表示此項誤差系對1個波長而言。
綜合考慮上述各項誤差含长，不難發(fā)現(xiàn)測量誤差zui大者也僅僅為0.18%券腔，但從之前的測量數(shù)據(jù)看伏穆，實測差異遠遠大于上述分析結果。上述分析證明纷纫，Soleil補償器法測量誤差主要來自Soleil補償器自身精度枕扫。對于本測試系統(tǒng)而言，測量誤差＜0.18%辱魁。
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