采用消光式橢偏儀精確測(cè)量波片的相位延遲量的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證亮曹。實(shí)驗(yàn)表明:該方法測(cè)量過(guò)程簡(jiǎn)單秘症,方便式矫,不易受光強(qiáng)波動(dòng)的影響,測(cè)量相位延遲量重復(fù)性精度達(dá)0.02°采转,相對(duì)誤差為0.02%故慈,是一種實(shí)用及有效的波片相位延遲量測(cè)量的方法。
展示全部
橢偏儀與偏振相位(八)- 利用消光式橢偏儀測(cè)量波片相位延遲量實(shí)驗(yàn)
1消光式橢偏儀
使用上海昊量光電設(shè)備有限公司的智能消光式橢偏儀情萤,該橢偏儀主要由光源、光機(jī)系統(tǒng)筋岛、旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)睁宰、電路控制系統(tǒng)及數(shù)據(jù)采集與處理軟件組成柒傻。光源則采用的波長(zhǎng)為632.8nm的氦氖激光器,適用于反射及透射樣品測(cè)量红符。使用儀器測(cè)量(,Δ)時(shí)精度分別是0.O1°和0.02°。
2實(shí)驗(yàn)過(guò)程
調(diào)節(jié)橢偏儀處于直通測(cè)量狀態(tài)双戳,使標(biāo)準(zhǔn)1/4波片的快軸位于+45°,起偏器P位于+45°飒货,檢偏器A位于135°,這時(shí)系統(tǒng)達(dá)到了消光的狀態(tài)膏斤。把待測(cè)波片安裝在有刻度盤(pán)的旋轉(zhuǎn)支架上莫辨,然后置于樣品臺(tái)毅访,調(diào)節(jié)波片使其表面與入射光線垂直,轉(zhuǎn)動(dòng)待測(cè)波片喻粹,使得系統(tǒng)重新達(dá)到消光狀態(tài)蟆融,這時(shí)待測(cè)波片的快慢軸應(yīng)位于±45°型酥。接著將待測(cè)波片的刻度盤(pán)旋轉(zhuǎn)45°弥喉,那么待測(cè)波片的快軸與儀器0°方位重合,然后就按照橢偏儀的一般測(cè)量過(guò)程由境,測(cè)量出和△虏杰。再把待測(cè)波片的刻度盤(pán)旋90°纺阔,重復(fù)上述測(cè)量从撼。
3實(shí)驗(yàn)結(jié)果
待測(cè)的波片由上海昊量光電設(shè)備有限公司提供的云母632.8nm波長(zhǎng)的1/4波片及1/2波片測(cè)量結(jié)果如表1所示:
1/4波片 | 相位延遲量 | ||||||
次數(shù) | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 平均 | 標(biāo)準(zhǔn)差 |
δ/° | 88.295 | 88.340 | 88.320 | 88.330 | 88.315 | 88.320 | 0.015 |
1/2波片 | 相位延遲量 | ||||||
次數(shù) | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 平均 | 標(biāo)準(zhǔn)差 |
δ/° | 187.745 | 187.735 | 187.745 | 187.75 | 187.745 | 187.743 | 0.005 |
表1 測(cè)量相位延遲量的結(jié)果(θ=0°)
同樣啃奴,可測(cè)到同一樣品目θ=90°時(shí)的相位延遲量最蕾,其平均值與θ=0°時(shí)的偏差約1°左右,可見(jiàn)黎炉,測(cè)量相位延遲量的結(jié)果與標(biāo)稱值有一定的偏差,采用橢偏儀測(cè)量波片相位延遲量的重復(fù)性精度優(yōu)于0.02°慷嗜,相對(duì)誤差達(dá)O.01°。
4結(jié)論
采用消光式橢偏儀測(cè)量波片相位延遲量的方法,具有方法簡(jiǎn)單缭乘,測(cè)量精度高且不易受光強(qiáng)波動(dòng)的影響等特點(diǎn)琉用,是一種精確測(cè)量波片位相延遲量的實(shí)用方法,可推廣應(yīng)用辕羽。
了解更多詳情刁愿,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)上海昊量光電的官方網(wǎng)頁(yè):
http://www.wjjzl.com/three-level-56.html
相關(guān)文獻(xiàn):
1王勇輝,鄭春龍,趙振堂.基于斯托克斯橢偏測(cè)量系統(tǒng)的多點(diǎn)定標(biāo)法[J].中國(guó)激光,2012,39(11):163-167.
2侯俊峰,于佳,王東光,鄧元勇,張志勇,孫英姿.自校準(zhǔn)法測(cè)量波片相位延遲[J].中國(guó)激光,2012,39(4):173-179.
3王喜寶,宋連科,朱化鳳,郝殿中,蔡君古.連續(xù)偏光干涉法測(cè)量波片寬波段延遲量變化[J].激光技術(shù),2012,36(2):258-261.
4趙振堂,林天夏,黃佐華,何振江.利用消光式橢偏儀精確測(cè)量波片相位延遲量[J].激光雜志,2012,33(3):8-9.
5程一斌,侯俊峰,王東光.組合波片的橢圓率角測(cè)量方法[J].北京理工大學(xué)學(xué)報(bào),2019,39(7):750-755.
6于德洪,李國(guó)華,蘇美開(kāi),宋連科.任意波長(zhǎng)云母波片位相延遲的測(cè)量[J].光電子.激光,1990,1(5):267-269.
7徐文東,李錫善.波片相位延遲量精密測(cè)量新方法[J].光學(xué)學(xué)報(bào),1994,14(10):1096-1101.
8薛慶文,李國(guó)華.半陰法測(cè)量λ/4波片的相位延遲[J].光電子.激光,1998,9(2):150-151.
9AzzamR.M.A.,Bashara,N.M.ellipsometryandPolarizedLight[M].NewYork:North-Holland,1977,198-201.
10孫英姿,王東光,張志勇,鄧元勇,張洪起,玄偉佳.波片相位延遲的光強(qiáng)測(cè)量法研究[J].天文研究與技術(shù),2008,5(1):74-82.
更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電
關(guān)于昊量光電:
上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商铣口,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器件缸、光學(xué)測(cè)量設(shè)備他炊、光學(xué)元件等痊末,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工哩掺、光通訊凿叠、生物醫(yī)療盒件、科學(xué)研究、國(guó)防恩沽、量子光學(xué)翔始、生物顯微、物聯(lián)傳感绽昏、激光制造等全谤;可為客戶提供完整的設(shè)備安裝爷贫,培訓(xùn),硬件開(kāi)發(fā)卷员,軟件開(kāi)發(fā),系統(tǒng)集成等服務(wù)腾务。
您可以通過(guò)我們昊量光電的官方網(wǎng)站www.wjjzl.com了解更多的產(chǎn)品信息毕骡,或直接來(lái)電咨詢4006-888-532。
展示全部